[实用新型]一种低功耗低噪声MEMS加速度计接口电路

权利要求书

1.一种低功耗低噪声MEMS加速度计接口电路，其特征在于，所述接口电路包括：

电荷转换器电路、PI控制器电路、差分驱动电路，MEMS加速度计的检测正极SP和检测负极SN分别输入相位相反的脉冲电压，MEMS加速度计的驱动正极和驱动负极分别接差分驱动电路的两个输出端，MEMS加速度计中间电极MASS接电荷转换器电路的输入端；电荷转换器电路的输出端接PI控制器电路的输入端；PI控制器电路的输入为单端输入，输出为差分输出，PC控制器电路的输出接差分驱动电路的输入端。

2.根据权利要求1所述的低功耗低噪声MEMS加速度计接口电路，其特征在于，所述电荷转换器电路包括：电阻R1,电容C1、C2,NMOS管MN1和偏置电流源Is，电荷转换器电路的输入端VI_CSA接电阻R1的正端和电容C1的正端；电阻R1的负端接模拟参考电压REF1；电容C1的负端与NMOS管MN1的栅极和电容C2的正端相连；MN1的源极接到模拟地，漏极接电流源I_s1负端；电流源I_s1正端与电源相连；电流源I_s1负端和C2的负端、MN1的漏极一起接到电路转换器输出端VO_CSA。

3.根据权利要求1所述的低功耗低噪声MEMS加速度计接口电路，其特征在于，所述PI控制器电路包括：电容C3、C4、C5，电阻R2、R3，开关PH1、PH2、PH3和单端运算放大器OP1、OP2，PI控制器电路的输入端VI_PI接到电容C3的正端；C3的负端分别和开关PH1、PH2和PH3的输入端相连；开关PH1的输出端与电阻R2的正端相接，与运放OP1的负输入端相接；开关PH2的输出端与电阻R3的正端相接，与运放OP2的负输入端相接；开关PH3的输出端和运放OP1、OP2的正输入端一起接到共模地；R2的正端与电容C4的正端相连；C4的负端与运放OP1的输出端相连，并接到PI控制器电路3的输出正极；R3的正端与电容C5的正端相连；C5的负端与运放OP1的输出端相连，并接到PI控制器电路3的输出负极。