[实用新型]一种全自动真空传输装置

说明书

本实用新型公开了一种全自动真空传输装置，包括第一连接板，所述第一连接板的一侧设有第二连接板，所述第二连接板的一侧固定有两根相互平行的导杆，所述导杆上贯穿设有样品座，两个导杆之间设有螺杆，所述螺杆上设有螺纹通孔，所述样品座上设有螺纹通孔，且螺杆贯穿螺纹通孔，所述样品座的两端等间距设有多个支撑块，所述第一连接板的一侧设有驱动装置，所述驱动装置的输出轴贯穿第一连接板以及第二连接板并固定连接在螺杆的一侧。本实用新型针对现有器材需要使用复数人力的缺陷，使用可程控的步进马达连结螺杆的方式来传动样品座，并搭配传感器监测样品在传输时的位置及状态，使得传输作业可由一人完成，节省操作人力。

技术领域

本实用新型涉及传输技术领域，尤其涉及一种全自动真空传输装置。

背景技术

在进行半导体工艺或是科研时，常使用真空环境来达成减少灰尘、水气、活性气体等目的，但若在同一个真空系统内进行蚀刻、层积、量测等工艺会造成各仪器间的互相干扰及污染，故常用的做法便是透过真空传输的技术将样品在多个真空系统间互相传输，传输完成后便将系统间互相隔离，达成全程真空下的多重工艺或量测作业，也防止了样品接触大气后造成的污染。

在实作真空传输系统时，最主要的技术问题就是如何将动力由真空外传递进真空系统内，一般常使用橡胶密封环来使传动杆可以由真空外进入真空内而不破坏真空，但在橡胶密封环的气体泄漏率会使得真空系统无法达到超高真空，且无法抵御高温，所以业界一般在超高真空环境下的传输使用以下几种方法:

在真空中的传输一般使用置于真空内外的多对磁铁，以磁力由真空外吸引真空内的磁铁带动样品座来进行真空中传输的目的。

另外也有方案在样品座上装设齿条，藉由真空磁流体轴连接齿轮来带动样品座，从而进行真空传输。

现有的解决方案都必须以人力来实际操作磁铁或是转动齿轮，而传输过程中也需要时时确认样品状态及样品的位置等讯息，一旦超高真空系统的规模太过巨大时传输便无法只靠一人完成，需要复数人手协力来完成样品传输。

使用磁力来传动样品时，磁力的超距力特性会导致难以进行精密的位置控制和传输，且传输用的强力永久磁铁会对磁性的样品或是电子束分析仪器等产生不必要的干扰，为此，我们提出了一种全自动真空传输装置来解决上述问题。

实用新型内容

本实用新型的目的是为了解决现有技术中存在的缺点，而提出的一种全自动真空传输装置。

为了实现上述目的，本实用新型采用了如下技术方案：

一种全自动真空传输装置，包括第一连接板，所述第一连接板的一侧设有第二连接板，所述第二连接板的一侧固定有两根相互平行的导杆，所述导杆上贯穿设有样品座，两个导杆之间设有螺杆，所述螺杆上设有螺纹通孔，所述样品座上设有螺纹通孔，且螺杆贯穿螺纹通孔，所述样品座的两端等间距设有多个支撑块，所述第一连接板的一侧设有驱动装置，所述驱动装置的输出轴贯穿第一连接板以及第二连接板并固定连接在螺杆的一侧，所述样品座的一侧设有传感器。

优选地，所述驱动装置为步进马达。

优选地，所述样品座的两端均固定有气缸，所述气缸的活塞杆末端固定有夹持板。

优选地，所述样品座的两侧等间距设有多个滚轮，所述导杆上设有和滚轮对应的滑槽。