[实用新型]一种真空旋转涂膜机

说明书

技术领域

本发明涉及一种涂膜机，特别是涉及一种真空旋转涂膜机。

背景技术

涂膜机主要应用于半导体工艺、晶体、光盘、制版及表面涂覆等工艺，一般涂膜机采用夹持样件的方式，利用刮刀或刮板的往复运动在样件表面进行涂覆，其缺点在于涂膜厚度不容易控制，不能保证涂膜的均匀性，从而在一定程度上影响了样品的制备，在科学研究上造成了一定的浪费。因此，需要一种能均匀涂膜高质量的真空旋转涂膜机。

发明内容

本发明的目的在于提供一种真空旋转涂膜机，采用真空吸附方式固定，使样件取放自如，操作简单，根据样件的大小可以选择不同规格的吸盘，更换方便快捷，电机启动快、速度稳定，可以保证涂层厚度的一致性和均匀性，从而提高涂膜的质量和效率。

本发明的目的是通过以下技术方案实现的：

一种真空旋转涂膜机，包括电机支架组件，壳体组件；所述的电机支架组件是通过底板安装在壳体组件上的。

所述电机支架组件包括上支撑板、电机固定板、支撑立柱、电机下端盖、密封垫、减震垫块、动力电机、吸盘、真空接头；吸盘安装在动力电机输出轴端，动力电机安装在电机固定板上，电机固定板通过减震垫块安装在上支撑板上，上支撑板固定在支撑立柱上，密封垫安装在电机下端盖上，电机下端盖固定在动力电机下端面。

所述壳体组件包括有机玻璃盖、上盖、水盘、铰链、合页垫块、注射器固定架、底板、机壳、地脚、合页、穿板接头；注射器固定架安装在有机玻璃盖上，有机玻璃盖固定在上盖上，两个铰链分别固定在上盖和水盘上，合页将两个铰链连接在一起，合页垫块固定在合页上，水盘安装在机壳上，机壳和地脚固定在底板上，穿板接头安装在机壳上。

本发明的优点是：采用耐腐蚀材料作为工作腔体，可用于强酸、强碱涂覆溶液；高转速电机，启动快，运行平稳；多段控制程序，增速和减速时间精准控制；采用真空吸附固定样件方式，取样方便简单。

附图说明

图1是本发明电机支架组件示意图；

图2是本发明壳体组件示意图。

具体实施方式

如图1、图2所示，本发明一种真空旋转涂膜机包括：

电机支架组件：吸盘8安装在动力电机7输出轴端，动力电机7安装在电机固定板2上，电机固定板2通过减震垫块6安装在上支撑板1上，上支撑板1固定在支撑立柱3上，密封垫5安装在电机下端盖4上，电机下端盖4固定在动力电机7下端面。

壳体组件：注射器固定架15安装在有机玻璃盖10上，有机玻璃盖10固定在上盖11上，两个铰链13分别固定在上盖11和水盘12上，合页19将两个铰链13连接在一起，合页垫块14固定在合页19上，水盘12安装在机壳17上，机壳17和地脚18固定在底板16上，穿板接头20安装在机壳17上。

使用过程：

将样件放在吸盘8上，将上盖11盖紧，通过控制面板的按键，设置好每段运行的时间，加减速率以及每段运行的转数，先按下真空泵启动按钮，则样件被吸附在吸盘8上，再按下运行按钮，机器按照预先设置好的程序开始运行，到达设置时间后，动力电机7停止运行，真空泵继续工作一段时间后再停止，一确保样件不至于飞出，保证安全；整个过程为自动完成。