[实用新型]一种平面研磨机

权利要求书

1.一种平面研磨机，包括机架(1)，机架(1)安装有抛光头(2)和研磨盘(3)，抛光头(2)连接有一陶瓷盘(4)，陶瓷盘(4)粘接有一蓝宝石片，其特征在于：研磨盘(3)的底部连接有一驱动机构，用于带动研磨盘(3)进行旋转，驱动机构连接有主轴(6)，研磨盘(3)的底部设置有水冷盘(7)，主轴(6)的第一端贯穿驱动机构连接有一下旋转接头(10)，主轴(6)的第二端与水冷盘(7)连接。

2.根据权利要求1所述的一种平面研磨机，其特征在于：所述驱动机构选用减速电机(5)。

3.根据权利要求2所述的一种平面研磨机，其特征在于：所述主轴(6)内设置有进水管道(8)和出水管道(9)，进水管道(8)的第一端与所述水冷盘(7)连通，进水管道(8)的第二端贯穿所述下旋转接头(10)，出水管道(9)的第一端与水冷盘(7)连通，出水管道(9)的第二端贯穿下旋转接头(10)。

4.根据权利要求3所述的一种平面研磨机，其特征在于：所述抛光头(2)的顶部安装有旋转电机(12)，旋转电机(12)内设置有旋转轴，旋转轴的第一端贯穿旋转电机(12)连接有一上旋转接头(11)，旋转轴的第二端与所述陶瓷盘(4)连接。

5.根据权利要求4所述的一种平面研磨机，其特征在于：所述旋转轴内开有第一冷却通道和第二冷却通道，第一冷却通道的第一端与所述上旋转接头(11)连通，第一冷却通道的第二端与所述陶瓷盘(4)的顶部连接，第二冷却通道的第一端与上旋转接头(11)连通，第二冷却通道的第二端与陶瓷盘(4)的顶部连接。

6.根据权利要求5所述的一种平面研磨机，其特征在于：所述下旋转接头(10)选用两通道旋转接头，两通道旋转接头包括第一接口和第二接口，所述进水管道(8)贯穿第一接口，所述出水管道(9)贯穿第二接口。

7.根据权利要求6所述的一种平面研磨机，其特征在于：所述上旋转接头(11)选用三通道旋转接头，三通道旋转接头包括第三接口、第四接口和第五接口，第三接口与所述第一冷却通道连通，所述旋转轴贯穿第四接口，第五接口与所述第二冷却通道连通，第三接口、第四接口和第五接口相互连通。

8.根据权利要求7所述的一种平面研磨机，其特征在于：所述第一冷却通道、所述第二冷却通道、所述进水管道(8)、所述出水管道(9)和所述水冷盘(7)分别放置有冷却水。