[实用新型]一种对位装置及蒸镀设备

说明书

技术领域

本实用新型涉及显示技术领域，特别涉及一种对位装置及蒸镀设备。

背景技术

近来，OLED(Organic Light-Emitting Diode，有机发光二极管)显示器因具有自发光、响应时间短、宽视角、对比度高、可柔性化等特点而引起广泛关注。

现有OLED显示器在生产过程中，需要通过对位装置对玻璃基板进行对位后才能进行蒸镀。现有对位装置如图1结构所示，在对玻璃基板110进行对位的过程中，玻璃基板110通过固定结构的定位块120进行定位，玻璃基板110的一侧容易放置到定位块120上，当冷却板(Cooling Plate)130与定位块120进行贴合时会造成玻璃基板110破裂，一旦玻璃基板110发生破裂必须打开真空腔室进行处理，然后蒸镀设备恢复正常生产至少需要12小时，导致严重影响蒸镀设备生产效率的问题。

实用新型内容

本实用新型提供了一种对位装置及蒸镀设备，该对位装置能够通过活动设置的滑块减小玻璃基板碎裂的几率，进而提高蒸镀设备的生产效率。

为达到上述目的，本实用新型提供以下技术方案：

一种对位装置，用于玻璃基板的对位，所述对位装置包括沿所述玻璃基板周向分布的至少四个对位机构、以及设置于所述至少四个对位机构顶部的冷却板机构，其中：

每个对位机构包括底座、能够沿所述底座的延伸方向滑动地安装于所述底座的滑块；所述底座朝向玻璃基板的一端设置有用于支撑所述玻璃基板的支撑面；所述滑块背离所述玻璃基板的一侧表面与水平面形成的开口朝向所述玻璃基板的夹角为锐角；

所述冷却板机构包括冷却板以及设置于所述冷却板、且与所述滑块一一对应抵接的驱动组件，所述驱动组件用于驱动所述滑块朝向所述玻璃基板滑动。

上述对位装置通过设置于玻璃基板周向的对位机构形成放置玻璃基板的容置空间，同时，由于对位机构的滑块能够沿底座的延伸方向滑动，并且冷却板机构的驱动组件能够驱动滑块朝向玻璃基板滑动，因此，上述对位装置在实际使用过程中，在冷却板机构的驱动组件的驱动下对位机构的滑块能够沿底座的延伸方向滑动，以调节放置玻璃基板的容置空间，并通过玻璃基板周向的滑块对玻璃基板进行对位；当玻璃基板的一端放置在滑块顶部时，滑块能够在玻璃基板重力的推动下沿底座的延伸方向朝向背离玻璃基板的方向滑动，使玻璃基板落入对位机构形成的容置空间中；当需要对玻璃基板进行对位时，冷却板机构向下运动，通过一一对应的驱动机构与滑块的斜面的抵接，驱动滑块朝向玻璃基板的方向滑动，最终使玻璃基板进行对位；通过滑块的滑动设置，能够减小玻璃基板被冷却板挤压破裂的概率，减小因蒸镀设备中断而恢复生产的时间，进而提高生产效率。

因此，该对位装置通过滑动设置的滑块能够减小玻璃基板碎裂的几率，进而提高生产效率。

优选地，沿所述底座的延伸方向，所述底座设置有滑轨，所述滑块安装于所述滑轨。

优选地，沿所述底座的延伸方向，所述底座的顶面设置有滑槽；所述滑块底面设置有与所述滑槽配合的凸起。

优选地，沿所述底座的延伸方向，所述底座的顶面设置有至少一个滑杆，所述滑块设置有与每个滑杆一一对应的导向孔。

优选地，每个所述对位机构还包括设置于所述底座和所述滑块之间的弹性件，所述弹性件用于使所述滑块朝向背离所述玻璃基板的方向移动。

优选地，所述弹性件为弹簧。

优选地，所述驱动组件包括一端设置于所述冷却板的驱动件、以及与相互对应的斜面滚动配合的滚轮，所述滚轮能够绕其轴心线旋转地安装于所述驱动件的另一端。

优选地，所述驱动件能够调节位置地设置于所述冷却板朝向所述玻璃基板的一侧表面。

优选地，所述对位装置包括沿所述玻璃基板周向均匀分布的八个对位机构。

另外，本实用新型还提供了一种蒸镀设备，该蒸镀设备包括蒸镀腔体，还包括如上述技术方案提供的任意一种对位装置，所述对位装置设置于所述蒸镀腔体内。

附图说明

图1为现有技术中一种对位装置的结构示意图；

图2为本实用新型实施例提供的一种对位装置的结构示意图；

图3为图2中对位装置在玻璃基板对位后的结构示意图；

图4为图2中对位装置的A向的一种结构示意图；

图5为图2中对位装置中一种对位机构在对位前的结构示意图；

图6为图5中对位机构在对位后的结构示意图；

图7为图2中对位装置中另一种对位机构的结构示意图；