[实用新型]一种单晶炉的称重装置

说明书

技术领域

本实用新型涉及晶体生长技术领域，特别涉及一种单晶炉的称重装置。

背景技术

单晶炉是一种在惰性气体环境中，用石墨加热器将多晶硅等多晶材料熔化，用直拉法生长无错位单晶的设备。

现有的单晶炉主要包括机架、主炉室、副室、晶体提拉机构、坩埚和坩埚提升机构。副室连接于主炉室上，坩埚设置于主炉室内，坩埚的下部通过坩埚提升机构驱动升降；晶体提拉机构设置于副室上方，晶体提拉机构的提拉绳穿过副室进入主炉室中，对仔晶进行提拉生成晶棒。由于在晶体生长的过程中，随着晶体提拉机构的不断提拉，坩埚中的熔融态原料在仔晶处形成固态晶棒，此时，坩埚内的溶液不断减小，液位下降，为了保证晶棒的持续生长，在单晶炉晶体生长过程中，需要根据工艺要求和坩埚里剩余料的情况调整锅跟比，锅跟比即坩埚的移动速度与晶体提拉机构的提拉速度之间的比值。

目前采用的锅跟比是通过公式计算，得出晶棒每段长度生长的锅跟比。在生长过程中按照表中锅跟比根据晶体提拉机构的提拉速度控制坩埚上升的速度，根据晶体生长的实际情况来人为手动干预修改锅跟比系数，修正晶体的生长过程。但在实际生产过程中，由于生长的晶体直径有变化，导致会出现实际的锅跟比过大或者过小，影响晶体的正常生长。

综上所述，如何解决锅跟比调节不精确的问题，成为了本领域技术人员亟待解决的问题。

实用新型内容

有鉴于此，本实用新型的目的在于提供一种单晶炉的称重装置，以应用到单晶炉中，避免锅跟比过大或过小影响晶体生长。

为达到上述目的，本实用新型提供以下技术方案：

一种单晶炉的称重装置，包括：

称重器件，用于安装在所述单晶炉的晶体提拉机构内，用于称量晶体重量；

承载件，支撑于所述称重器件上，用于承载所述晶体提拉机构的提拉绳。

优选地，在上述的称重装置中，还包括支架，用于安装在所述晶体提拉机构内，所述称重器件安装于所述支架上。

优选地，在上述的称重装置中，所述承载件为滑轮，所述滑轮转动支撑于所述称重器件上，所述提拉绳绕过所述滑轮。

优选地，在上述的称重装置中，所述承载件为光杆，所述光杆转动支撑或固定支撑于所述称重器件上，所述提拉绳绕过所述光杆。

优选地，在上述的称重装置中，所述称重器件的数量为至少两个。

优选地，在上述的称重装置中，所述称重器件分别支撑于所述承载件的两端。

优选地，在上述的称重装置中，所述称重器件为电子秤。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：

本实用新型提供的单晶炉的称重装置中，包括称重器件和承载件，称重器件用于安装在单晶炉的晶体提拉机构内，用于称量晶体重量；承载件支撑于称重器件上，用于承载晶体提拉机构的提拉绳。工作时，晶体提拉机构在通过提拉绳提拉晶体时，由于提拉绳承载于承载件上，因此，整个晶体的重量压在承载件上，而承载件安装在称重器件上，因此，称重器件能够称量晶体重量。本申请中的单晶炉的称重装置能够应用于单晶炉中，利用坩埚内的装料总重量和称量的晶体重量，得到坩埚内的剩余料重量，来控制坩埚提升机构的提升速度，避免了锅跟比过小或者过大影响晶体生长。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据提供的附图获得其他的附图。

图1为本实用新型实施例提供的一种单晶炉的称重装置的安装结构示意图；

图2为本实用新型实施例提供的一种单晶炉的称重装置的工作原理示意图。

其中，1为晶体提拉机构、11为提拉绳、12为提拉箱体、13为提拉驱动装置、2为副室、3为晶体、4为主炉室、5为坩埚、6为坩埚提升机构、7为称重装置、71为承载件、72为称重器件、73为支架。

具体实施方式

本实用新型的核心是提供了一种单晶炉的称重装置，能够用于单晶炉的锅跟比调节，避免了锅跟比过大或过小影响晶体生长。

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。