[实用新型]超净真空包装系统

说明书

技术领域

本实用新型属于光电洁净技术领域，尤其是超净真空包装系统。

背景技术

光电技术领域使用的零部件，往往对清洁度的要求较高，微小的杂质和尘埃都会影响半导体的性能。因此在光电领域内清洗、清洁技术是非常重要的一系列技术，很多工艺要在洁净室完成。

抽真空密封包装也是光电零部件的重要洁净包装方式，工艺中一般通过真空泵将包装袋抽真空。目前真空泵按照原理主要有水环式、有油式和无油式等，水环真空泵依靠水环路工作；有油真空泵依靠介质油来密封，降温性能佳；无油真空泵多通过石墨部件之间的摩擦接触密封，有旋片式等型式，不宜接触水分，不然容易膨胀损坏。而按照抽真空方式则有内抽式与外抽式，外抽式真空包装机是通过抽气嘴放到被包装物的包装袋内，抽出空气来完成包装；内抽式是直接将真空室内空气抽成真空后封口。对于光电零部件，抽真空洁净度要求较高，目前广泛使用的单一抽真空设备已经无法满足其洁净度的要求。

实用新型内容

实用新型目的：为了改进现有技术真空包装系统不够洁净的缺陷，开发一种新的适用于光电零部件的洁净包装系统，本实用新型提供一种结构简单、使用方便的超净真空包装系统，以解决现有技术中存在的问题。

实用新型内容：超净真空包装系统，所述超净真空包装系统为内抽式真空包装系统，包括外壳、上工作室、下工作室、真空模块、控制模块、封装模块，所述外壳上端活动连接有盖板，所述外壳内设有由隔板隔开的上工作室和下工作室，所述隔板安装有工作室电动开关，所述上工作室侧面和底面表面覆盖有一层加热层，加热层与隔板之间的夹层中具有加热模块以控制加热，所述真空模块包括无油真空泵和真空吸嘴，所述无油真空泵安装于下工作室内，所述真空吸嘴由真空管连接于无油真空泵、安装于上工作室一侧；

所述上工作室内安装有封装模块，上工作室一侧安装有控制模块，所述控制模块在包装系统外部具有控制面板，所述无油真空泵、加热模块、封装模块、工作室电动开关均与控制模块电连接。

作为优选，上工作室一侧还安装有静电捕尘器，所述静电捕尘器在靠外壳一侧具有集尘槽。真空包装系统尽管在工作时基本可以保持洁净，但在启闭盖板更换工件时难免混入有尘埃的空气，静电捕尘器大大提高了对尘埃的处理，使上工作室多了一道洁净保障，而集尘槽可不断更换，便于循环使用。

作为优选，所述无油真空泵为双级或三级旋片式无油真空泵，其极限真空度与工作大气压的比值高于0.998。真空泵选用双级或三级可以提高抽真空极限真空度，这对包装要求高的光电零部件而言尤其重要，限定极限真空度与工作大气压的比值也就是对高真空度提出了具体要求。

作为优选，所述加热层的材质为不锈钢或铝合金。不锈钢或铝合金为低成本而导热性良好的刚性构件，适用于作为热介质以及支撑上部被包装光电零部件。

作为优选，所述盖板与包装系统的机架接触面具有密封条，所述外壳底部还具有行走轮。密封条保证在盖板合上后部漏气，行走轮使整台包装系统便于移动位置，方便操作。

作为优选，所述包装系统下工作室还具有紧急切断开关，所述紧急切断开关和控制模块、无油真空泵、加热模块、封装模块、静电捕尘器电连接。紧急切断开关可在包装系统各环节出问题时及时作出反应，以防止设备破坏和工作风险。

和现有技术相比，本实用新型的有益效果在于：本实用新型的超净真空包装系统，结构简单、洁净保障性好。真空泵选用无油真空泵相比一般的内抽式真空包装系统具有了无油污染、可长期循环使用的优点；加热层铺展在上工作室的内表面有利于凝结小水珠或其他液体蒸发，从而被无油真空泵吸走，洁净度得以进一步保证；静电捕尘器则对不时更换的内外界空气中的微尘进行处理，在抽真空的同时还优化了无尘性。本实用新型以简约的设计，优化了现有真空包装系统的结构，从各种角度令包装符合洁净的要求，尤其是彻底消除了现有真空包装油污染。

附图说明

图1是本实用新型实施例的结构示意图。

1-外壳，10-隔板，11-盖板，12-密封条，13-行走轮，2-上工作室，20-工作室电动开关，21-加热层，3-下工作室，4-真空模块，41-无油真空泵，42-真空吸嘴，43-真空管，5-控制模块，51-控制面板，6-封装模块，7-加热模块，8-静电捕尘器，81-集尘槽，9-紧急切断开关。

具体实施方式