[实用新型]一种超高速超精密磁性研磨微米加工装置

权利要求书

1.一种超高速超精密磁性研磨微米加工装置，其特征在于，包括：工作台以及设置于所述工作台上的磁性组件以及驱动组件；所述磁性组件包括第一永久磁铁、第二永久磁铁以及两个磁极构件；所述磁极构件的相对的两端分别为宽端和窄端；所述第一永久磁铁的N极与所述第二永久磁铁的S极相对设置，且所述两个磁极构件的宽端分别与所述第一永久磁铁的N极和所述第二永久磁铁的S极连接，所述两个磁极构件的窄端相对并具有间隔；所述驱动组件包括用于驱动被加工物转动的驱动转子，所述驱动转子朝向所述间隔设置。

2.根据权利要求1所述的超高速超精密磁性研磨微米加工装置，其特征在于，所述磁性组件还包括座架，所述第一永久磁铁的S极与所述第二永久磁铁的N极通过所述座架连接；所述座架采用磁性材料制成。

3.根据权利要求2所述的超高速超精密磁性研磨微米加工装置，其特征在于，所述座架包括支撑柱、横梁以及第一连接臂和第二连接臂；所述横梁设置于所述支撑柱上；所述第一连接臂的一端与所述第一永久磁铁的S极连接，所述第一连接臂的另一端与所述横梁贴合并与所述横梁滑动配合；所述第二连接臂的一端与所述第二永久磁铁的N极连接，所述第二连接臂的两一端与所述横梁贴合并与所述横梁滑动配合。

4.根据权利要求3所述的超高速超精密磁性研磨微米加工装置，其特征在于，所述工作台上设置有基础面板，所述基础面板上设置有第一永久磁铁固定座和第二永久磁铁固定座，且所述第一永久磁铁固定座和所述第二永久磁铁固定座相对设置，所述第一永久磁铁和所述第二永久磁铁分别设置于所述第一永久磁铁固定座和所述第二永久磁铁固定座上；所述基础面板采用非磁性材料制成，所述座架设置于所述基础面板上。

5.根据权利要求4所述的超高速超精密磁性研磨微米加工装置，其特征在于，所述基础面板上设置有导轨以及第一伸缩机构和第二伸缩机构；所述第一永久磁铁固定座和所述第二永久磁铁固定座均设置于所述导轨上；所述第一伸缩机构的伸缩杆与所述第一永久磁铁固定座连接，所述第二伸缩机构的伸缩杆与所述第二永久磁铁固定座连接；所述第一伸缩机构和所述第二伸缩机构控制所述第一永久磁铁固定座和第二永久磁铁固定座沿所述导轨往复移动，并调节所述两个磁极构件间的所述间隔的距离。

6.根据权利要求4所述的超高速超精密磁性研磨微米加工装置，其特征在于，所述工作台上还设置有振动机构；所述基础面板滑动设置于所述工作台上，且所述振动机构的执行端与所述基础面板连接，所述振动机构控制所述基础面板朝向所述驱动转子往复移动。

7.根据权利要求4所述的超高速超精密磁性研磨微米加工装置，其特征在于，所述基础面板上还设置有密闭罩，且所述密闭罩与所述基础面板可拆卸连接；所述密闭罩与所述基础面板形成密闭空间，所述磁性机构设置于所述密闭空间内。

8.根据权利要求7所述的超高速超精密磁性研磨微米加工装置，其特征在于，所述密闭罩设置有惰性气体注入口，且所述惰性气体注入口与所述密闭空间连通。

9.根据权利要求7所述的超高速超精密磁性研磨微米加工装置，其特征在于，所述密闭罩设置有冷却液或冷却气体注入口，且所述冷却液或冷却气体注入口与所述密闭空间连通。

10.根据权利要求9所述的超高速超精密磁性研磨微米加工装置，其特征在于，所述密闭罩内设置有温度传感器，且所述温度传感器电连接有控制系统；所述温度传感器用于检测所述密闭空间内的温度，并产生感应信号；所述控制系统接收所述温度传感器的感应信号，并根据感应信号控制所述冷却液或冷却气体注入口的冷却液或冷却气体的注入量。