[实用新型]石英摆式加速度计

权利要求书

1.一种石英摆式加速度计，其特征在于：包括上极板（1）、中间极板（2）和下极板（3），所述上极板（1）和所述下极板（3）均由键合区一（11）、电容平板区（12）和电极引线区一（13）组成，所述键合区一（11）围在所述电容平板区（12）的四周，所述电极引线区一（13）一端悬空，另一端穿过所述键合区一（11）与所述电容平板区（12）连接，所述键合区一（11）的厚度大于所述电容平板区（12）的厚度；所述中间极板（2）由键合区二（21）、质量块（22）、挠性梁（23）和电极引线区二（24）组成，所述键合区二（21）为环状，所述质量块（22）经所述挠性梁（23）与所述键合区二（21）内侧边固定连接，所述电极引线区二（24）一端悬空，另一端穿过所述键合区二（21）与所述质量块（22）相连；所述上极板、中间极板和下极板通过三者的键合区连接成一个整体。

2.如权利要求1所述石英摆式加速度计，其特征在于：所述键合区二（21）与所述质量块（22）厚度相同，且大于所述挠性梁（23）的厚度。

3.如权利要求1所述石英摆式加速度计，其特征在于：所述键合区一（11）比所述电容平板区（12）高2～5μm。