[实用新型]一种高稳定高灵敏单片硅基微压传感器

说明书

技术领域

本实用新型属于传感器技术领域，尤其涉及一种高稳定高灵敏单片硅基微压传感器。

背景技术

微压传感器通常是指小于10Kpa量程的压力传感器。这类传感器要求灵敏度很高。即在很小压强作用下就要有很大的电信号输出。例如用作呼吸传感器时，就要把人体微弱的呼吸信号检测出来。为了达到这个目的，微压传感器中的核心部份-弹性硅膜制作得很薄。把厚度为400微米的圆片经过集成电路平面工艺，在背面光刻出腐蚀窗口，正面保护，放在硅单晶腐蚀液中腐蚀，使窗口内硅单晶厚度从400微米减小到仅2-30微米左右。因此在工艺制作上难度较高，传统的工艺制作，产出率也低，成本高，卖价也就较其它大量程传感器高。

中国专利公开号为CN 202075084 U，发明创造名称为一种高稳定高灵敏单片硅基微压传感器，包括硅基片，所述硅基片正面光刻出背岛窗口，背岛窗口内单晶硅腐蚀形成一凹坑，凹坑的表面生长有二氧化硅层，凹坑内填有多晶硅层，所述硅基片的正面键合连接表面热生长二氧化硅层的单晶硅弹性薄膜层，单晶硅弹性薄膜层表面制作有惠斯顿电桥，所述硅基片背面光刻出方形窗口，所述方形窗口内单晶硅直至腐蚀到二氧化硅层，所述背岛窗口区形成背岛结构。但是现有的高稳定高灵敏单片硅基微压传感器还存在着不能在潮湿的环境中工作，不防摔以及不便于安装的问题。

因此，发明一种高稳定高灵敏单片硅基微压传感器显得非常必要。

实用新型内容

为了解决上述技术问题，本实用新型提供一种高稳定高灵敏单片硅基微压传感器，以解决现有的高稳定高灵敏单片硅基微压传感器不能在潮湿的环境中工作，不防摔以及不便于安装的问题。一种高稳定高灵敏单片硅基微压传感器，包括高稳定高灵敏单片硅基微压传感器本体，防水保护装置，防摔保护装置，安装装置和高精准定位装置，所述的高稳定高灵敏单片硅基微压传感器本体通过防水保护装置安装在防摔保护装置的内部中间位置；所述的安装装置和高精准定位装置分别螺纹连接在高稳定高灵敏单片硅基微压传感器本体的左右两侧。

优选的，所述的防水保护装置包括防水保护盖，合页和防水保护壳，所述的防水保护盖通过合页安装在防水保护壳的右侧。

优选的，所述的防水保护盖具体采用PVC塑料盖；所述的防水保护壳具体采用长方体聚酰亚胺耐高温塑料壳。

优选的，所述的防水保护盖包括螺纹孔和密封垫，所述的螺纹孔分别设置在防水保护盖的右上角和右下角位置；所述的密封垫粘贴在防水保护盖的前表面中间位置。

优选的，所述的密封垫具体采用长方形橡胶密封圈。

优选的，所述的防水保护壳包括微压传感器安装孔，防水垫，锁紧螺纹孔，一级凹槽和防水圈，所述的微压传感器安装孔分别横向设置在防水保护壳的右侧内壁上中间位置；所述的防水垫粘贴微压传感器安装孔内壁上；所述的锁紧螺纹孔设置在防水保护壳的左上角和左下角位置，并分别与螺纹孔正对设置；所述的一级凹槽开设在防水保护壳的左表面中间位置；所述的防水圈粘贴在一级凹槽的内壁上。

优选的，所述防水垫具体采用橡胶密封垫；所述的防水垫设置有2个；所述的防水圈具体采用正方形橡胶密封圈。

优选的，所述的防摔保护装置包括防摔保护盖，安装合页和防摔保护壳，所述的防摔保护盖通过安装合页安装在防摔保护壳的右侧。

优选的，所述的防摔保护盖具体采用长方形硅胶盖；所述的防摔保护壳具体采用长方体硅胶保护壳。

优选的，所述的防摔保护盖包括保护盖安装孔，减震垫和减震簧，所述的保护盖安装孔分别开设在防摔保护盖的右上角和右下角位置；所述的减震垫粘贴在防摔保护盖前表面中间位置；所述的减震簧螺栓连接在防摔保护盖前表面中间位置。

优选的，所述的减震垫具体采用长方形橡胶垫；所述的减震簧具体采用圆柱弹簧；所述的减震簧设置有6-8个。

优选的，所述的防摔保护壳包括端部镂空孔，镂空板，安装螺纹孔，二级凹槽，多级减震簧和微压传感器安装定位孔，所述的端部镂空孔分别设置在防摔保护壳的左右两表面的上下两端位置；所述的镂空板分别螺栓连接在防摔保护壳的上表面和下表面；所述的安装螺纹孔分别开设在防摔保护壳的左上角和右上角位置，并分别与保护盖安装孔正对设置；所述的二级凹槽开设在防摔保护壳的左表面中间位置；所述的多级减震簧分别螺栓连接在防摔保护壳的内部上表面、下表面、左表面和右表面位置；所述的微压传感器安装定位孔分别横向设置在防摔保护壳的右侧内壁上中间位置，并分别与微压传感器安装孔正对设置。

优选的，所述的多级减震簧具体采用圆柱弹簧；所述的多级减震簧设置有多个。