[实用新型]一种中高能电子枪

权利要求书

1.一种中高能电子枪，其特征在于，包括：

电子枪体、差分抽气管、电极法兰和高压Q9头排布板；其中，

电极法兰固定设置在差分抽气管上，高压Q9头排布板固定设置在电极法兰后端；

差分抽气管上还分别设有法兰底座、差分抽气接口和真空计接口；

电子枪体固定设置在法兰底座接口内侧；

电子枪体包括：外筒，该外筒内从后至前依次固定设置栅极底座、阳极和聚焦极，阳极后端伸入到栅极底座前端内，聚焦极后端伸入到阳极前端内，该外筒前端设置枪头，枪头内固定设置偏转机构；阳极前端设有带通孔的第一钼片，聚焦极前端设有带通孔的第二钼片；栅极底座、阳极和聚焦极与外筒之间均设有绝缘垫片，偏转机构与枪头之间设有第三绝缘垫片；所述栅极底座为圆筒形，该栅极底座内设有锥形口底座，阴极灯丝通过压片固定安装在所述栅极底座的锥形口底座内，所述栅极底座上远离所述阴极灯丝一端设有一圈楔形圆环；

高压Q9头排布板经电缆分别与电子枪体的栅极底座、阳极、聚焦极、偏转机构和阴极灯丝电气连接。

2.根据权利要求1所述的一种中高能电子枪，其特征在于，阳极为双圆筒结构，其后端圆筒的半径小于前端圆筒的半径，该阳极后端小半径圆筒一端伸入到栅极底座内形成渗透电场；该阳极前端大半径圆筒一端内设置带3mm通孔的第一钼片。

3.根据权利要求1或2所述的一种中高能电子枪，其特征在于，聚焦极为双圆筒结构，其后端圆筒的半径小于前端圆筒的半径，该聚焦极后端小半径圆筒一端伸入到阳极内；该聚焦极前端大半径圆筒一端内设置带3mm通孔的第二钼片。

4.根据权利要求1或2所述的一种中高能电子枪，其特征在于，偏转机构由固定在枪头内壁的四片相对的偏转电极组成，各偏转电极均为扇形。

5.根据权利要求1或2所述的一种中高能电子枪，其特征在于，栅极底座和阳极外与外筒之间设置的为第一绝缘垫片；

阳极和聚焦极外与外筒之间设置的为第二绝缘垫片；

偏转机构外与枪头之间设置的为第三绝缘垫片。

6.根据权利要求5所述的一种中高能电子枪，其特征在于，第一绝缘垫片由三片成120度分开的扇形聚四氟乙烯片组成；各扇形聚四氟乙烯片内在栅极底座与阳极之间处设有一台阶；

第二绝缘垫片为一个聚四氟乙烯圆筒，该聚四氟乙烯圆筒内在阳极与聚焦极之间处有一台阶，该第二绝缘垫片外侧设有布线空间；

第三绝缘垫片由四片相对的扇形聚四氟乙烯片组成，各扇形聚四氟乙烯片上均设有通孔。

7.根据权利要求1或2所述的一种中高能电子枪，其特征在于，枪头与外筒通过紧定螺钉固定连接。

8.根据权利要求1或2所述的一种中高能电子枪，其特征在于，压片、栅极底座、阳极、聚焦极、偏转机构的偏转电极、枪头和外筒均采用316L不锈钢制成；

栅极底座、阳极、聚焦极、偏转机构的偏转电极和枪头内部、第一钼片表面、第二钼片表面均涂有胶体石墨。

9.根据权利要求1所述的一种中高能电子枪，其特征在于，法兰底座为CF50接口；

电极法兰为Kurt J.Lesker公司的5000V CF法兰电极，法兰电极上开有三个通孔，高压Q9头排布板通过三个螺线柱固定在电极法兰后端；

差分抽气接口为DN600快卸法兰；

真空计接口为CF35法兰接口。

10.根据权利要求1或9所述的一种中高能电子枪，其特征在于，差分抽气管为十字形结构，法兰底座与电极法兰相对设置，差分抽气接口与真空计接口相对设置。