[实用新型]一种便于清理的平行光曝光机有效

专利信息
申请号: 201720341623.4 申请日: 2017-04-01
公开(公告)号: CN206671763U 公开(公告)日: 2017-11-24
发明(设计)人: 蒋金硕;韩国俊;周平 申请(专利权)人: 咸宁市万润光电科技有限公司
主分类号: G03F7/20 分类号: G03F7/20
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 437100 湖北省咸宁市*** 国省代码: 湖北;42
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摘要:
搜索关键词: 一种 便于 清理 平行 曝光
【说明书】:

技术领域

实用新型属于平行光曝光机技术领域,具体涉及一种便于清理的平行光曝光机。

背景技术

紫外线曝光机是指通过开启灯光发出UVA波长的紫外线,将胶片或其他透明体上的图像信息转移到涂有感光物质的表面上的设备。曝光机即电子束曝光机是集电子光学、电气、机械、真空、计算机技术等于一体的复杂的半导体加工设备。常见曝光机举例:MYCRO美国制造的恩科优(N&Q)紫外曝光系统,适用于从特殊大小的基片到4尺寸很宽广范围材料的紫外或深紫外光曝光。

NXQ400-6系统成功地应用于半导体制造,光电电子,平板,射频微波,衍射光学,微机电系统,凹凸或复晶设备和其他要求精细印制和精度对准的应用。

现有的平行光曝光机的玻璃盖板清理不便,需要人工手动进行清洗,对玻璃盖板清理速度慢影响工作效率,清理效率低,且需要时常进行清理的问题,为此我们提出一种便于清理的平行光曝光机。

实用新型内容

本实用新型提供一种便于清理的平行光曝光机,以解决上述背景技术中提出现有的平行光曝光机的玻璃盖板清理不便,需要人工手动进行清洗,对玻璃盖板清理速度慢影响工作效率,清理效率低,且需要时常进行清理的问题。

为了解决上述技术问题,本实用新型提供如下技术方案:一 种便于清理的平行光曝光机,包括主机外壳和排气扇驱动电机,所述主机外壳的前表面一端设置有显示器,且主机外壳的前表面靠近显示器的一端设置有控制开关,所述主机外壳的左右两侧均设置有伸缩杆,所述伸缩杆与主机外壳的连接处设置有伸缩杆转动座,所述主机外壳的上表面设置有玻璃盖板,所述玻璃盖板的上方设置有主机顶盖,所述伸缩杆上靠近主机顶盖的一端设置有伸缩杆固定座,所述主机顶盖的内部设置有静电除尘网框架,所述静电除尘网框架上设置有静电除尘网,所述主机顶盖的内部靠近静电除尘网框架的下端设置有卡扣安装座,且主机顶盖的内部远离玻璃盖板的一端设置有幕布收卷筒,所述幕布收卷筒的内部设置有抽拉式防尘幕布,所述抽拉式防尘幕布的一端设置有幕布卡扣,所述幕布收卷筒的内部靠近幕布收卷筒的一端设置有幕布收卷电机,所述主机顶盖的上表面设置有顶盖开启把手,且主机顶盖后表面设置有防尘滤网,所述主机顶盖的内部靠近防尘滤网的位置处设置有电机固定支架,所述排气扇驱动电机安装在电机固定支架上靠近防尘滤网的一侧,所述排气扇驱动电机上设置有排气扇,所述显示器与控制开关电性连接,所述静电除尘网、幕布收卷电机和排气扇驱动电机均与显示器电性连接。

优选的,所述伸缩杆与主机外壳通过伸缩杆转动座转动连接。

优选的,所述伸缩杆与主机顶盖通过伸缩杆固定座固定连接。

优选的,所述静电除尘网框架与主机顶盖通过螺栓固定连接。

优选的,所述抽拉式防尘幕布与卡扣安装座通过幕布卡扣卡合连接。

本实用新型所达到的有益效果是:通过在顶盖上设计的静电除尘网便于将灰尘吸附在静电除尘网上,避免了灰尘容易落入到玻璃盖板和主机内部的问题,同时也避免了需要人工手动清理的问题,使用更加方便,便于使用者快速有效的对玻璃盖板进行清理,只需要定期拆卸拆卸静电除尘网清洗即可,避免了需要时常 进行清理的问题;通过设计的抽拉式防尘幕布,便于使用者在不使用静电除尘网进行遮挡,避免了静电除尘网影响曝光效果的问题,同时也避免灰尘的落入。

附图说明

附图用来提供对本实用新型的进一步理解,并且构成说明书的一部分,与本实用新型的实施例一起用于解释本实用新型,并不构成对本实用新型的限制。在附图中:

图1是本实用新型的结构示意图;

图2是本实用新型中顶盖的后视结构示意图;

图3是本实用新型中抽拉式防尘幕布安装的结构示意图。

图中:1、主机顶盖;2、幕布收卷筒;3、顶盖开启把手;4、幕布卡扣;5、抽拉式防尘幕布;6、静电除尘网框架;7、伸缩杆固定座;8、伸缩杆转动座;9、静电除尘网;10、显示器;11、控制开关;12、玻璃盖板;13、主机外壳;14、卡扣安装座;15、伸缩杆;16、幕布收卷电机;17、排气扇;18、电机固定支架;19、防尘滤网;20、排气扇驱动电机。

具体实施方式

以下结合附图对本实用新型的优选实施例进行说明,应当理解,此处所描述的优选实施例仅用于说明和解释本实用新型,并不用于限定本实用新型。

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