[实用新型]一种针对大口径深矢高的光学自由曲面检测装置

权利要求书

1.一种针对大口径深矢高的光学自由曲面检测的装置，该装置由ZYGO干涉仪(1)、标准平面参考镜(2)、光阑(3)、第一分光镜(4)、第二分光镜(5)、第一零位补偿透镜(6)、第二零位补偿透镜(8)、偏振片(9)、液晶空间光调制器(10)和PC(11)组成；其特征是，

ZYGO干涉仪(1)、标准平面参考镜(2)、光阑(3)、第一分光镜(4)和第二分光镜(5)依次同轴放置，第一分光镜(4)和第二分光镜(5)倾斜45°；第一零位补偿透镜(6)和被测自由曲面(7)依次同轴放置在第一分光镜(4)的反射光路上；第二零位补偿透镜(8)、偏振片(9)和液晶空间光调制器(10)依次同轴设置在第二分光镜(5)的反射光路上；ZYGO干涉仪(1)与PC(11)相连；PC(11)与液晶空间光调制器(10)相连。

2.根据权利要求1所述的一种针对大口径深矢高的光学自由曲面检测的装置，其特征在于，ZYGO干涉仪(1)发出的激光入射至标准平面参考镜(2)上，激光经所述标准平面参考镜(2)透射后经过光阑(3)，然后入射至第一分光镜(4)上，激光经所述第一分光镜(4)分成一束透射光和一束反射光；

经过第一分光镜(4)的反射光入射至第一零位补偿透镜(6)上，光经第一零位补偿透镜(6)透射后入射至被测自由曲面(7)上，光经被测自由曲面(7)发射产生测试光，所述测试光经第一零位补偿透镜(6)反射后返回至第一分光镜(4)上；

经过分光镜(4)的透射光入射至第二分光镜(5)，经第二分光镜(5)反射后入射至第二零位补偿透镜(8)上，经第二零位补偿透镜(8)入射至偏振片(9)上，光经偏振片(9)透射后入射至液晶空间光调制器(10)上，光经过液晶空间光调制器(10)相位调制并反射后获得参考光，所述参考光经过偏振片(9)、零位补偿透镜(8)和第二分光镜(5)反射后返回至第一分光镜(4) 上；

参考光和测试光干涉形成干涉光，所述干涉光经过光阑(3)和标准平面参考镜(2)透射后，入射到ZYGO干涉仪(1)的成像系统。