[实用新型]一种高效多晶硅还原炉热量回收系统

权利要求书

1.一种高效多晶硅还原炉热量回收系统，其特征在于，所述高效多晶硅还原炉热量回收系统包括还原炉，还原炉上连接有尾冷夹套，所述尾冷夹套上分别连接有夹套水入口、夹套水出口和先进换热器，所述先进换热器分别与夹套水入口、夹套水出口和还原炉相连，并连接有SV混合器，所述SV混合器与混合汽化器相连，同时通过一旁路与还原炉相连，所述先进换热器上设有还原尾气出口，所述混合汽化器连接有三氯化硅进口和氢气进口，还原炉的高温炉筒回水与所述混合汽化器相连。

2.根据权利要求1所述的高效多晶硅还原炉热量回收系统，其特征在于，所述先进换热器包括混合进料与高温尾气换热器、水冷高温尾气夹套。

3.根据权利要求2所述的高效多晶硅还原炉热量回收系统，其特征在于，所述先进换热器为缠绕管换热器。

4.根据权利要求1所述的高效多晶硅还原炉热量回收系统，其特征在于，所述尾冷夹套、还原炉及先进换热器的高温进水温度为140℃～152℃，出口温度为165℃～175℃。

5.根据权利要求4所述的高效多晶硅还原炉热量回收系统，其特征在于，所述温度为165℃～175℃的出口水一部分输入所述混合汽化器，其它部分输入一蒸汽闪蒸装置。

6.根据权利要求1至5之一所述的高效多晶硅还原炉热量回收系统，其特征在于，所述还原炉内设有高温水冷却装置。