[实用新型]玻璃基板生产用研磨机的抽水装置

权利要求书

1.一种玻璃基板生产用研磨机的抽水装置，其特征在于，所述抽水装置包括抽吸源和连通在该抽吸源下方的蓄水区，以及与所述研磨机的研磨罩(1)连通的第一管路(6)，该第一管路(6)连通在所述抽吸源和所述研磨罩(1)之间以用于抽出所述研磨罩内的冷却水。

2.根据权利要求1所述的抽水装置，其特征在于，所述抽吸源包括风机(5)，用于驱动所述风机(5)的第二驱动件(7)以及连接于所述风机(5)的进气口和所述第一管路(6)之间的分离装置(13)，所述分离装置(13)用于将抽吸的冷却水和空气分离并将所述冷却水输送至所述蓄水区。

3.根据权利要求2所述的抽水装置，其特征在于，所述分离装置(13)包括进口、用于排出冷却水的出液口以及用于排出空气的出气口，所述第一管路(6)连接至所述分离装置(13)的所述进口，所述分离装置(13)的所述出气口连接至所述风机(5)的进气口，所述出液口连接至所述蓄水区。

4.根据权利要求3所述的抽水装置，其特征在于，所述蓄水区包括用于收集所述冷却水的水箱(8)，所述水箱(8)通过第二管路(9)连接至所述分离装置(13)的所述出液口。

5.根据权利要求4所述的抽水装置，其特征在于，所述水箱(8)内还设置有液位传感器。

6.根据权利要求2所述的抽水装置，其特征在于，所述分离装置(13)为旋流器。

7.根据权利要求2所述的抽水装置，其特征在于，所述第二驱动件(7) 为电机。