[实用新型]一种具有双圆柱增敏结构的MEMS矢量水听器有效
| 申请号： | 201720329522.5 | 申请日： | 2017-03-31 |
| 公开（公告）号： | CN206725084U | 公开（公告）日： | 2017-12-08 |
| 发明（设计）人： | 郝振宇;郭世旭;赵鹏;王月兵 | 申请（专利权）人： | 中国计量大学 |
| 主分类号： | G01H3/00 | 分类号： | G01H3/00;G01H11/08 |
| 代理公司： | 杭州奥创知识产权代理有限公司33272 | 代理人： | 王佳健 |
| 地址： | 310018 浙江省*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 具有 圆柱 结构 mems 矢量 水听器 | ||
【权利要求书】：
1.一种具有双圆柱增敏结构的MEMS矢量水听器，包括聚氨酯外套、金属屏蔽壳，在金属屏蔽壳与聚氨酯外套中间夹有密封圈，金属屏蔽壳里面放置前置放大器，聚氨酯外套内设置敏感单元，敏感单元矢量方向位置按照设定的角度摆放并在外部进行标记，敏感单元贴在双圆柱增敏结构的内壁上，通过屏蔽导线与前置放大器进行电气连接，屏蔽导线穿过导线连接孔，导线连接孔旁边为出油孔，双圆柱增敏结构设置在聚氨酯外套的底座上，聚氨酯外套与双圆柱增敏结构中间充满脱气蓖麻油。
2.根据权利要求1所述的MEMS矢量水听器，其特征在于：所述的敏感单元采用两根平行设置的铂丝，两根铂丝上的温度差用于振速的测量，两根铂丝通过MEMS加工工艺刻蚀完成。
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