[实用新型]一种气体供应装置

权利要求书

1.一种气体供应装置，包括载气瓶，其特征在于：还包括分流器及汽化箱，所述载气瓶与分流器间通过管道相连，此管道上设有减压阀；所述分流器的第一出气端通过第一连接管路与汽化箱内部下方相连通，第二出气端通过第二连接管路与混合塔内部相连通；所述汽化箱的顶部出气端通过第三连接管路与混合塔内部上方相连通；混合塔内部设有横向折流板，混合塔底端出气口与一气体储存缓冲室相连，此气体储存缓冲室的出气端与气体供应管相连。

2.根据权利要求1所述的一种气体供应装置，其特征在于：所述第一连接管路在汽化箱内的出气端设有第一微孔曝气器。

3.根据权利要求1所述的一种气体供应装置，其特征在于：所述第一连接管路上设有流量调节阀。

4.根据权利要求1所述的一种气体供应装置，其特征在于：所述第三连接管路的出气端设有第二微孔曝气器。

5.根据权利要求1所述的一种气体供应装置，其特征在于：所述折流板的一端向上弯折。

6.根据权利要求1-5中任一项权利要求所述的一种气体供应装置，其特征在于：所述气体供应管上设有与之相连的旁路处理管，所述旁路处理管上设有开关阀及吸附过滤器。

7.根据权利要求1-5中任一项权利要求所述的一种气体供应装置，其特征在于：所述减压阀与分流器间还设有流量计及固体过滤器。

8.根据权利要求7所述的一种气体供应装置，其特征在于：所述固体过滤器包括过滤筒体及筒体内的滤芯，所述滤芯为三层过滤层，相邻过滤层间设有孔板。

9.根据权利要求8所述的一种气体供应装置，其特征在于：所述三层过滤层分别为吸附海绵层、多孔陶瓷吸附层、纳米纤维吸附层。

10.根据权利要求1-5中任一项权利要求所述的一种气体供应装置，其特征在于：所述汽化箱顶部设有液体补入口。