[实用新型]一种纳米金属薄膜制备箱有效
| 申请号： | 201720321909.6 | 申请日： | 2017-03-30 |
| 公开（公告）号： | CN206607307U | 公开（公告）日： | 2017-11-03 |
| 发明（设计）人： | 张忠帆 | 申请（专利权）人： | 张忠帆 |
| 主分类号： | C23C14/32 | 分类号： | C23C14/32 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 450007 河南省郑*** | 国省代码： | 河南;41 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 纳米 金属 薄膜 制备 | ||
1.一种纳米金属薄膜制备箱，包括纳米金属薄膜制备箱主体(1)，其特征在于：所述纳米金属薄膜制备箱主体(1)内设有电离室(2)、制备室(3)和冷却室(4)，所述电离室(2)、所述制备室(3)和所述冷却室(4)在所述纳米金属薄膜制备箱主体(1)内从上到下依次设置，所述电离室(2)内设有阳极壁(5)，所述阳极壁(5)内设有阴极板(6)，所述电离室(2)底部对应所述阴极板(6)的位置上设有喷射口(7)，所述喷射口(7)贯穿所述阳极壁(5)，所述纳米金属薄膜制备箱主体(1)外侧顶部对应所述阳极壁(5)和所述阴极板(6)之间的位置上设有进气口(8)，所述纳米金属薄膜制备箱主体(1)外侧对应所述冷却室(4)的位置上设有进液口(9)和出液口(10)，所述冷却室(4)内部设有冷却管道(11)，所述冷却管道(11)的两端分别与所述进液口(9)和所述出液口(10)连接。
2.根据权利要求1所述的一种纳米金属薄膜制备箱，其特征在于：所述制备室(3)内设有基片(12)，所述基片(12)设置在所述制备室(3)底部对应所述喷射口(7)的位置上。
3.根据权利要求1所述的一种纳米金属薄膜制备箱，其特征在于：所述纳米金属薄膜制备箱主体(1)外侧对应所述制备室(3)的位置上设有箱门(13)，所述箱门(13)的一侧与所述纳米金属薄膜制备箱主体(1)铰接。
4.根据权利要求3所述的一种纳米金属薄膜制备箱，其特征在于：所述箱门(13)上设有锁定装置(14)和把手(15)，所述锁定装置(14)设置在所述把手(15)的上方。
5.根据权利要求3所述的一种纳米金属薄膜制备箱，其特征在于：所述箱门(13)上设有观察窗(16)，所述观察窗(16)设置为矩形结构。
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