[实用新型]一种低压扩散石英舟有效

申请号：	201720310862.3	申请日：	2017-03-28
公开（公告）号：	CN206541813U	公开（公告）日：	2017-10-03
发明（设计）人：	吴俊旻;常青;扈静;闫涛;李家栋	申请（专利权）人：	通威太阳能（合肥）有限公司
主分类号：	H01L21/673	分类号：	H01L21/673;H01L31/18
代理公司：	昆明合众智信知识产权事务所53113	代理人：	张玺
地址：	230088 安徽***	国省代码：	安徽;34
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摘要：
搜索关键词：	一种低压扩散石英
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【权利要求书】：

1.一种低压扩散石英舟，包括一对端板(1)、一对上槽棒(2)以及下槽棒(3)，一对上槽棒(2)安装在一对端板(1)之间的上部同一水平位置，下槽棒(3)安装在一对端板(1)之间的底部，且位于一对上槽棒(2)之间，其特征在于：上槽棒(2)相对的圆周面上均开设有插片槽(20)，该插片槽(20)开口的一端直径大，远离开口的一端直径变小；下槽棒(3)的圆周面上开设有圆心角为θ的固定槽(30)，该固定槽(30)活动连接有固定板(31)，该固定板(31)的一端上翘，另一端与固定槽(30)的表面相吻合，同时还设有凸起(32)。

2.根据权利要求1所述的一种低压扩散石英舟，其特征在于：所述插片槽(20)开口的一端呈“八”字形，远离开口的一端呈“几”字形或者底面开口的等腰梯形。

3.根据权利要求1所述的一种低压扩散石英舟，其特征在于：所述固定槽(30)的圆心角θ为60°～87°。

4.根据权利要求1所述的一种低压扩散石英舟，其特征在于：所述固定板(31)设置为两组，且以圆心角θ的角平分线对称分布，同时底面的中部设有转动部件(33)，并通过转动部件(33)与固定槽(30)转动连接。

5.根据权利要求1、3或4所述的一种低压扩散石英舟，其特征在于：所述固定槽(30)圆心角为θ对应的弦长大于硅片(4)的厚度。

6.根据权利要求4所述的一种低压扩散石英舟，其特征在于：所述转动部件(33)为合页或者两端套设轴套的销轴。

7.根据权利要求1所述的一种低压扩散石英舟，其特征在于：所述凸起(32)为球形或者最高点呈波纹状。

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