[实用新型]一种石英舟移动装置有效
| 申请号： | 201720308920.9 | 申请日： | 2017-03-28 |
| 公开（公告）号： | CN206742215U | 公开（公告）日： | 2017-12-12 |
| 发明（设计）人： | 侯玉;张春华;衡阳;陈佳男;顾媛媛;卫鹏鹏;郑旭然;邢国强 | 申请（专利权）人： | 苏州阿特斯阳光电力科技有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/677 | 分类号： | H01L21/677;H01L31/18 |
| 代理公司： | 北京品源专利代理有限公司11332 | 代理人： | 张海英,林波 |
| 地址： | 215129 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 石英 移动 装置 | ||
1.一种石英舟移动装置，其特征在于，包括中空板(1)及与所述中空板(1)固定连接的抬杆(2)、底部托棒(3)和手柄(4)；
所述抬杆(2)及所述底部托棒(3)设置于所述中空板(1)的一侧，所述手柄(4)设置于所述中空板(1)的另一侧；
所述抬杆(2)插入石英舟内，用于抬起石英舟，所述底部托棒(3)置于所述石英舟下方，用于托住所述石英舟。
2.根据权利要求1所述的石英舟移动装置，其特征在于，所述抬杆(2)上设有卡点(21)，所述卡点(21)与所述抬杆(2)固定连接。
3.根据权利要求2所述的石英舟移动装置，其特征在于，所述抬杆(2)的远离所述中空板(1)的一端与所述卡点(21)之间的距离不小于石英舟的宽度。
4.根据权利要求3所述的石英舟移动装置，其特征在于，所述底部托棒(3)与所述抬杆(2)竖直距离不小于石英舟的高度。
5.根据权利要求1-4任一项所述的石英舟移动装置，其特征在于，还包括铰接于所述中空板(1)两侧的侧面卡板(5)。
6.根据权利要求5所述的石英舟移动装置，其特征在于，所述侧面卡板(5)上设有凸起卡片(51)，所述凸起卡片(51)与石英舟侧板上的连接孔(6)相适配，用于固定置于移动装置上的石英舟。
7.根据权利要求6所述的石英舟移动装置，其特征在于，所述手柄(4)的数量为两个，两个所述手柄(4)并行地固定于所述中空板(1)上。
8.根据权利要求7所述的石英舟移动装置，其特征在于，所述抬杆(2)的数量为两个，且两个所述抬杆(2)可平行地插放于所述石英舟上的圆孔(7)内。
9.根据权利要求8所述的石英舟移动装置，其特征在于，所述底部托棒(3)的数量不少于两个，用于托住所述石英舟。
10.根据权利要求1-4任一所述的石英舟移动装置，其特征在于，所述手柄(4)上设有防滑装置。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于苏州阿特斯阳光电力科技有限公司，未经苏州阿特斯阳光电力科技有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201720308920.9/1.html，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种石英舟
- 下一篇：基板传送装置及包含该基板传送装置的基板处理系统
- 同类专利
- 专利分类
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
