[实用新型]一种蓝膜取晶固晶机构

权利要求书

1.一种蓝膜取晶固晶机构，包括用于安装蓝膜的安装盘箍(1)和用于放置料片的置料台(2)，在所述安装盘箍(1)和置料台(2)直接设置有用于取晶和固晶的甩臂(3)，其特征在于，所述安装盘箍(1)的下方对应所述甩臂(3)取晶位置处设置有顶晶柱(4)和顶晶点动装置，所述顶晶柱(4)安装在顶晶点动装置上，在所述顶晶点动装置的驱动下所述顶晶柱(4)上下运动并且可以向上顶起所述蓝膜。

2.如权利要求1所述的一种蓝膜取晶固晶机构，其特征在于：所述顶晶柱(4)的上端设置有若干个吸口(5)，所述吸口(5)与真空泵连通。

3.如权利要求1所述的一种蓝膜取晶固晶机构，其特征在于：所述安装盘箍(1)安装在第一调节装置上，在所述第一调节装置驱动下所述安装盘箍(1)可以沿横向和纵向运动。

4.如权利要求3所述的一种蓝膜取晶固晶机构，其特征在于：所述第一调节装置包括第一横向丝杆(6)、第一横向滑台(7)、第一横向电机(8)、第一纵向丝杆(9)、第一纵向滑台(10)和第一纵向电机，所述第一横向丝杆(6)固定设置并由所述第一横向电机(8)驱动旋转，所述第一横向滑台(7)安装在所述第一横向丝杆(6)上并可沿横向运动；所述第一纵向丝杆(9)固定设置在所述第一横向滑台(7)上并由所述第一纵向电机驱动旋转，所述第一纵向滑台(10)安装在所述第一纵向丝杆(9)上并可沿纵向运动；所述安装盘箍(1)和所述第一纵向滑台(10)固定连接。

5.如权利要求3所述的一种蓝膜取晶固晶机构，其特征在于：所述置料台(2)安装在第二调节装置上，在所述第二调节装置驱动下所述置料台(2)可以沿横向和纵向运动。

6.如权利要求5所述的一种蓝膜取晶固晶机构，其特征在于：所述第二调节装置包括第二横向丝杆(14)、第二横向滑台(15)、第二横向电机(16)、第二纵向丝杆(11)、第二纵向滑台(12)和第二纵向电机(13)，所述第二纵向丝杆(11)固定设置并由所述第二纵向电机(13)驱动旋转，所述第二纵向滑台(12)安装在所述第二纵向丝杆(11)上并可沿纵向运动；所述第二横向丝杆(14)固定设置在所述第二纵向滑台(12)上并由所述第二横向电机(16)驱动旋转，所述第二横向滑台(15)安装在所述第二横向丝杆(14)上并可沿横向运动；所述置料台(2)和所述第二横向滑台(15)固定连接。

7.如权利要求1所述的一种蓝膜取晶固晶机构，其特征在于：所述顶晶点动装置包括固定架(17)和点动电机(18)，所述点动电机(18)水平安装在所述固定架(17)上，所述点动电机(18)的输出轴上设置有偏心轮(19)，所述顶晶柱(4)穿设在所述固定架(17)上并可上下滑动，所述顶晶柱(4)外套设有弹簧(20)，所述弹簧(20)将所述顶晶柱(4)向下顶推并且使所述顶晶柱(4)的下端面贴紧在所述偏心轮(19)的轮壁上。

8.如权利要求1所述的一种蓝膜取晶固晶机构，其特征在于：所述安装盘箍(1)的上方设置有用于检测晶元的第一高速相机(21)。

9.如权利要求8所述的一种蓝膜取晶固晶机构，其特征在于：所述置料台(2)的上方设置有用于检测晶元的第二高速相机(22)。