[实用新型]一种直写曝光光路系统有效
| 申请号： | 201720293682.9 | 申请日： | 2017-03-24 |
| 公开（公告）号： | CN206649282U | 公开（公告）日： | 2017-11-17 |
| 发明（设计）人： | 赵华;陈海巍;茆晓华;戴续;宁震坤;吴长江;刘世林;程珂;钱聪;李显杰 | 申请（专利权）人： | 无锡影速半导体科技有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 哈尔滨市阳光惠远知识产权代理有限公司23211 | 代理人： | 张勇 |
| 地址： | 214135 江苏省无锡市新吴*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 曝光 系统 | ||
【权利要求书】：
1.一种直写曝光光路系统，所述光路系统包括多排DMD组件，每排上有多个DMD组件且这多个DMD组件成直线排列；相邻两排DMD组件交错分布，每个DMD组件在扫描方向上都对应在相邻排两个DMD组件之间的位置；每排上相邻两个DMD组件之间的在扫描方向上不能被覆盖的空白区域，在其它各排依次对应有DMD组件；各DMD组件共同覆盖整个曝光区域。
2.根据权利要求1所述的一种直写曝光光路系统，所述DMD组件连接在DMD支架上，所述DMD支架有多个，其形状为直线型，所述每1排DMD组件连接在1个DMD支架上；DMD支架通过连接杆相互连接，连接杆与支架通过螺栓固定。
3.根据权利要求1所述的一种直写曝光光路系统，所述多排DMD组件的排数为2-4排。
4.根据权利要求1所述的一种直写曝光光路系统，所述DMD组件在每排上相邻DMD组件的间隔L≤N*W，其中N为排数，W为单个DMD组件所能曝光条带的宽度。
5.根据权利要求1所述的一种直写曝光光路系统，所述相邻两排DMD组件的间距H≥W2，其中W2为组件组件在扫描方向上的宽度。
6.根据权利要求1所述的一种直写曝光光路系统，所述多排DMD组件在扫描方向上覆盖的整个条带宽度不小于其所对应的直写曝光设备的吸盘的宽度。
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