[实用新型]干版曝光装置有效
| 申请号： | 201720293206.7 | 申请日： | 2017-03-24 |
| 公开（公告）号： | CN207067659U | 公开（公告）日： | 2018-03-02 |
| 发明（设计）人： | 杜武兵;黄国勇 | 申请（专利权）人： | 深圳市路维光电股份有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 深圳市翼智博知识产权事务所(普通合伙)44320 | 代理人： | 肖伟 |
| 地址： | 518057 广东省深圳市南*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 干版 曝光 装置 | ||
【权利要求书】：
1.一种干版曝光装置，其特征在于：所述干版曝光装置包括用于放置干版的载料台、用于产生激光以照射放置在载料台上的干版的激光头以及设置于激光头与载料台之间用于对激光头所发出的激光进行滤光处理以吸收所述激光部分能量的滤光片。
2.如权利要求1所述的干版曝光装置，其特征在于：所述激光头为蓝光激光头。
3.如权利要求2所述的干版曝光装置，其特征在于：所述蓝光激光头为半导体侧面泵浦激光模块。
4.如权利要求1所述的干版曝光装置，其特征在于：所述滤光片采用中心波长为390nm~410nm之间的带通型滤光片。
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