[实用新型]一种激光刻边设备

权利要求书

1.一种激光刻边设备，其特征在于：它包括用于放置至少一片硅片的固定平台、可升降的下压板和在固定平台外围设置的激光发生器，所述激光发生器可沿固定平台外围的圆周移动，所述下压板为柱状体并竖向设于固定平台的正上方，所述激光发生器移动到位且其发射头对准硅片的侧面，同时下压板下压硅片，以便发射头发射的激光去除硅片周边的PN结。

2.根据权利要求1所述的激光刻边设备，其特征在于：固定平台的台面内部中空，在台面的上表面设有用于吸附固定硅片的真空吸附孔，所述真空吸附孔与台面内部相通并和抽真空装置连接。

3.根据权利要求2所述的激光刻边设备，其特征在于：所述激光发生器为Nd：YAG激光器。

4.根据权利要求3所述的激光刻边设备，其特征在于：所述激光发生器

所发出的激光的光斑直径为10～250微米。

5.根据权利要求4所述的激光刻边设备，其特征在于：所述激光发生器所发出的激光的波长为1064nm、532nm或355nm。

6.根据权利要求5所述的激光刻边设备，其特征在于：所述固定平台的台面的形状为圆形、四方形或六边形。

7.根据权利要求6所述的激光刻边设备，其特征在于：所述下压板的横截面的形状是圆形、四方形、五边形或六边形。