[实用新型]一种液晶面板刻蚀系统中防止补液气泡回流机构

权利要求书

1.一种液晶面板刻蚀系统中防止补液气泡回流机构，其特征在于：包括进液管道（11）、出液管道（12）、电磁阀（13）、流量计（14）、浮子（15）、开关以及设有进液口和出液口的缓冲池（16），所述进液管道（11）和出液管道（12）分别与缓冲池（16）的进液口和出液口对应连接，电磁阀（13）和流量计（14）均连接于出液管道（12）上，且电磁阀（13）位于缓冲池（16）与流量计（14）之间，开关设于缓冲池（16）的内壁上，且开关通过导线与电磁阀（13）相连，浮子（15）设于缓冲池（16）内，且浮子（15）的一端抵接于开关上并将开关开启，继而使得电磁阀（13）打开，缓冲池（16）内液位下降，浮子（15）下降并远离开关，开关闭合并使得电磁阀（13）关闭。

2.如权利要求1所述的液晶面板刻蚀系统中防止补液气泡回流机构，其特征在于：所述缓冲池（16）的内壁上设有滑槽（160），所述开关设于该滑槽（160）的顶端。

3.如权利要求2所述的液晶面板刻蚀系统中防止补液气泡回流机构，其特征在于：所述滑槽（160）的内壁上设有限位槽（161）。

4.如权利要求3所述的液晶面板刻蚀系统中防止补液气泡回流机构，其特征在于：所述浮子（15）包括底座（151）、支撑杆（152）、调节杆（153）和滑块（154），所述支撑杆（152）垂直固定于底座（151）上，调节杆（153）的一端通过螺栓铰接于支撑杆（152）上，另一端与滑块（154）固定连接。

5.如权利要求4所述的液晶面板刻蚀系统中防止补液气泡回流机构，其特征在于：所述滑块（154）的侧壁上设有与所述限位槽（161）相适配的限位销（155）。

6.如权利要求4所述的液晶面板刻蚀系统中防止补液气泡回流机构，其特征在于：所述滑块（154）的上端面上设有半球状的按压凸点（156）。

7.如权利要求1所述的液晶面板刻蚀系统中防止补液气泡回流机构，其特征在于：所述开关上包裹有防水橡胶。