[实用新型]利用压电致动的振荡结构、投射MEMS系统

权利要求书

1.一种利用压电致动的振荡结构，其特征在于，所述振荡结构包括：

第一扭转弹性元件和第二扭转弹性元件，所述第一扭转弹性元件和第二扭转弹性元件被限制到固定的支撑体的对应部分并且限定旋转轴；

移动元件，所述移动元件被安排在所述第一与第二扭转弹性元件之间并连接到所述第一和第二扭转弹性元件，由于所述第一和第二可变形元件的扭转，所述移动元件可围绕所述旋转轴旋转；以及

第一控制区域，所述第一控制区域耦合到所述移动元件并且容纳第一压电致动器，所述第一压电致动器被配置成用于在使用中引起所述第一控制区域的局部变形，所述局部变形生成所述第一和第二扭转弹性元件的扭转。

2.根据权利要求1所述的振荡结构，其特征在于，所述移动元件包括：中心体、在所述中心体与所述第一扭转弹性元件之间的第一连接区域、以及在所述中心体与所述第二扭转弹性元件之间的第二连接区域，

所述第一控制区域相对于所述第一和第二连接区域被固定并且通过第一沟槽与所述中心体分开。

3.根据权利要求2所述的振荡结构，其特征在于，所述第一和第二连接区域中的每一个都具有比所述第一和第二扭转弹性元件中的每一个的扭转刚性常数高的扭转刚性常数。

4.根据权利要求3所述的振荡结构，其特征在于，所述第一和第二连接区域中的每一个的所述扭转刚性常数比所述第一和第二扭转弹性元件中的每一个的所述扭转刚性常数大至少一个数量级。

5.根据权利要求2至4中任一项所述的振荡结构，其特征在于，进一步包括第二控制区域，所述第二控制区域耦合到所述移动元件并且容纳第二压电致动器，所述第二压电致动器被配置成用于在使用中引起所述第二控制区域的局部变形，所述局部变形生成所述第一和第二扭转弹性元件的扭转，所述扭转与由所述第一压电致动器在使用中生成的所述扭转相反。

6.根据权利要求5所述的振荡结构，其特征在于，所述第二控制区域相对于所述第一和第二连接区域被固定并且通过第二沟槽与所述中心体分开。

7.根据权利要求2至4中任一项所述的振荡结构，其特征在于，所述中心体容纳反射镜，所述振荡结构形成微反射镜。

8.根据权利要求5所述的振荡结构，其特征在于，所述第一和第二控制区域与所述移动元件共面。

9.根据权利要求5所述的振荡结构，其特征在于，所述第一和第二控制区域在与所述移动元件所在的平面平行的、位于低于所述移动元件所在的所述平面的高度上的平面中延伸。

10.根据权利要求5所述的振荡结构，其特征在于，所述第一和第二控制区域在与所述移动元件所在的平面平行的、位于大于所述移动元件所在的所述平面的高度上的平面中延伸。

11.根据权利要求1至4、6、8至10中任一项所述的振荡结构，其特征在于，进一步包括电子电路，所述电子电路操作性地耦合到所述第一压电致动器，并且被配置成用于将所述第一压电致动器偏置为驱动电压从而生成并维持所述移动元件的振荡。

12.一种投射MEMS系统，其特征在于，包括：

根据权利要求1至11中任一项所述的振荡结构；

反射元件，所述反射元件被限制到所述移动元件，并且被设计成用于反射光束；

光源，所述光源可以被操作用于生成在所述反射元件上的入射光束；以及

图像生成模块，所述图像生成模块操作性地耦合到所述振荡结构，用于生成与由所述反射元件所反射的光束相关联的图像的一部分。