[实用新型]一种拉曼光谱面成像设备

权利要求书

1.一种拉曼光谱面成像设备，其特征在于，包括激光产生装置、滤光装置以及面阵检测器，所述激光产生装置发出的激光光束以面照明的方式照射到样品表面的预设区域，所述样品在所述激光光束的激发下产生的拉曼散射光入射到所述滤光装置，经所述滤光装置选通后成像到所述面阵检测器，被所述面阵检测器接收，其中，所述激光产生装置的输出波长可调。

2.根据权利要求1所述的拉曼光谱面成像设备，其特征在于，所述滤光装置包括带通滤光片和法布里-珀罗干涉器，所述法布里-珀罗干涉器设置于所述带通滤光片与所述面阵检测器之间，所述样品在所述激光光束的激发下产生的拉曼散射光入射到所述带通滤光片，经所述带通滤光片的选通后入射到所述法布里-珀罗干涉器，由所述法布里-珀罗干涉器出射后成像到所述面阵检测器，其中，所述法布里-珀罗干涉器的自由光谱范围大于所述带通滤光片带通宽度的一半。

3.根据权利要求2所述的拉曼光谱面成像设备，其特征在于，所述带通滤光片为窄带滤光片。

4.根据权利要求3所述的拉曼光谱面成像设备，其特征在于，入射到所述窄带滤光片的拉曼散射光的入射角可调。

5.根据权利要求2所述的拉曼光谱面成像设备，其特征在于，所述带通滤光片为固定中心波长的带通滤光片。

6.根据权利要求2所述的拉曼光谱面成像设备，其特征在于，所述滤光装置还包括长通滤光片，所述样品在所述激光光束的激发下产生的拉曼散射光依次经所述长通滤光片、所述带通滤光片、所述法布里-珀罗干涉器后成像到所述面阵检测器。

7.根据权利要求1所述的拉曼光谱面成像设备，其特征在于，所述激光产生装置包括可调谐激光器以及扩束镜，所述可调谐激光器发出的激光光束经所述扩束镜的扩束后照射到所述样品表面，所述面照明的方式为科勒式或临界式或散焦形式的面照明方式。

8.根据权利要求7所述的拉曼光谱面成像设备，其特征在于，所述拉曼光谱面成像设备还包括会聚透镜以及物镜，所述可调谐激光器发出的激光光束经所述扩束镜的扩束后，依次经过所述会聚透镜和所述物镜后照射到所述样品表面。

9.根据权利要求1所述的拉曼光谱面成像设备，其特征在于，所述拉曼光谱面成像设备还包括二向色镜，所述激光产生装置发出的激光光束入射到所述二向色镜，经所述二向色镜反射后照射到样品表面的预设区域，所述样品在所述激光光束的激发下产生的拉曼散射光入射到所述二向色镜，透过所述二向色镜后入射到所述滤光装置。

10.根据权利要求1所述的拉曼光谱面成像设备，其特征在于，所述激光产生装置的输出波长连续可调。