[实用新型]飞秒激光加工视觉系统的图像标定模板

权利要求书

1.一种飞秒激光加工视觉系统的图像标定模板，包含图像标定板及其固定板其特征在于：所述的图像标定板为硅晶片标定板，硅晶片表面烧蚀有4×4共16个圆斑激光烧痕，每个圆斑激光烧痕的直径相同，相邻圆斑激光烧痕的中心间距相同；所述的固定板为石英玻璃固定板，石英玻璃固定板的上表面设置有用于嵌入所述硅晶片标定板的矩形凹槽。

2.根据权利要求1所述的飞秒激光加工视觉系统的图像标定模板，其特征在于：所述的硅晶片的规格为10×10mm，厚度650±10μm。

3.根据权利要求1所述的飞秒激光加工视觉系统的图像标定模板，其特征在于：所述的圆斑激光烧痕直径为20um，相邻圆斑激光烧痕的中心间距为50um。

4.根据权利要求1或2所述的飞秒激光加工视觉系统的图像标定模板，其特征在于：所述的硅晶片为P型掺杂硼的单晶硅片。

5.根据权利要求1所述的飞秒激光加工视觉系统的图像标定模板，其特征在于：所述的石英玻璃固定板的规格为175×25mm，厚度1mm。

6.根据权利要求1所述的飞秒激光加工视觉系统的图像标定模板，其特征在于：所述的矩形凹槽规格为10×10mm，深度为0.3mm。

7.根据权利要求1所述的飞秒激光加工视觉系统的图像标定模板，其特征在于：所述的矩形凹槽内在四角位置设置有通透的圆孔。