[实用新型]一种石英舟

说明书

技术领域

本实用新型涉及硅片的载具技术领域，尤其涉及一种石英舟。

背景技术

石英舟是晶硅太阳能电池扩散工序中用于承载硅片的载具，具有耐高温和较好的化学稳定性的特点。目前，在生产过程中，用石英舟承载清洗制绒后的硅片进行扩散。硅片放置在石英舟中时，硅片与石英舟接触的部位会产生舟槽印。现有的石英舟的底部一般通过圆柱形的支撑杆承载硅片，圆柱形的支撑杆开设的限位槽的面积比较大，会产生较大的舟槽印，会对硅片的性能产生影响。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提出一种石英舟，减少舟槽印，降低对硅片的性能的影响。

为达此目的，本实用新型采用以下技术方案：

一种石英舟，包括：承载部，用于承载硅片，所述承载部包括：

侧板，位于所述承载部的横向两端；

底部支撑杆，连接于横向两端的所述侧板之间，且位于所述侧板的底部；

所述底部支撑杆朝向所述承载部的内部的一侧呈尖端状，且所述底部支撑杆的尖端状区域沿横向开设有多个限位槽。

进一步的，所述底部支撑杆的横截面呈扇形，且圆心所在的区域为尖端状的凸起处。

进一步的，所述限位槽的槽深为3-4mm。

进一步的，所述底部支撑杆上的所述限位槽的槽底为朝所述承载部的内部凸出的弧面。

进一步的，所述承载部还包括：

侧部支撑杆，连接于横向两端的所述侧板之间，且位于所述侧板的两侧。

进一步的，所述侧部支撑杆朝向所述承载部的内部的一侧呈尖端状。

进一步的，所述石英舟还包括：

支撑部，位于所述承载部的底部，以支撑所述承载部，所述支撑部包括设置于所述承载部两侧的多条支撑腿；

所述支撑腿与所述承载部可拆卸连接；或

所述支撑腿包括固定支撑腿和待替换支撑腿，所述固定支撑腿与所述承载部一体固定，所述待替换支撑腿与所述侧板靠近所述固定支撑腿处分别设置有相互配合的可拆卸连接结构。

进一步的，所述支撑腿包括固定支撑腿和待替换支撑腿；

所述可拆卸连接结构包括相互配合的螺纹凸起部和螺纹孔；或

所述可拆卸连接结构包括设置于不同待连接部件上的两个固定孔，两个固定孔通过螺栓固定；或

所述可拆卸连接结构包括相互配合插接的燕尾槽和燕尾榫。

进一步的，每个所述侧板上分别设置有两个分布于两侧的所述可拆卸连接结构。

进一步的，所述侧板沿横向方向开设有多个通孔。

有益效果：本实用新型提供的石英舟包括用于承载硅片的承载部，承载部包括侧板和底部支撑杆，侧板位于承载部的横向两端，底部支撑杆连接于横向两端的侧板之间，且位于侧板的底部；底部支撑杆朝向承载部的内部的一侧呈尖端状，且底部支撑杆的尖端状区域沿横向开设有多个限位槽。硅片陷入到限位槽中被限位，限位槽也会在硅片上形成舟槽印，与现有技术的圆柱形的底部支撑杆相比，尖端状的形状可以减少限位槽的面积，同时还能保持限位槽的深度，保证限位可靠。

附图说明

图1是本实用新型实施例1提供的石英舟(配有待替换支撑腿)的主视图。

图2是本实用新型实施例1提供的石英舟的承载部的俯视图。

图3是本实用新型实施例1提供的石英舟的底部支撑杆的结构示意图。

图4是图3的侧视图。

其中：

1-承载部，11-限位槽，12-侧板，121-通孔，13-底部支撑杆，14-侧部支撑杆，21-固定支撑腿，22-待替换支撑腿，23-螺纹凸起部，24-螺纹孔。

具体实施方式

为使本实用新型解决的技术问题、采用的技术方案和达到的技术效果更加清楚，下面结合附图并通过具体实施方式来进一步说明本实用新型的技术方案。

实施例1

如图1-图4所示，本实施例提供了一种石英舟，包括用于承载硅片的承载部1，承载部1包括侧板12和底部支撑杆13，侧板12位于承载部1的横向两端，底部支撑杆13连接于横向两端的侧板12之间，且位于侧板12的底部；底部支撑杆13朝向承载部1的内部的一侧呈尖端状，且底部支撑杆13的尖端状区域沿横向开设有多个限位槽11。侧板12可以沿横向方向开设多个通孔121，便于气体流通，与只开设一个面积比较大的通孔相比，多个通孔121可以均衡受力，避免对侧板12的各个区域的结构强度造成太大的影响。通孔121可以为长100mm、宽13mm的长方形通孔，通孔121之间间隔15mm排布。