[实用新型]磁场装置及单晶生长设备有效
申请号: | 201720257653.7 | 申请日: | 2017-03-16 |
公开(公告)号: | CN206624950U | 公开(公告)日: | 2017-11-10 |
发明(设计)人: | 赵磊 | 申请(专利权)人: | 隆基绿能科技股份有限公司 |
主分类号: | C30B30/04 | 分类号: | C30B30/04;C30B15/00;C30B29/06 |
代理公司: | 西安弘理专利事务所61214 | 代理人: | 钟欢 |
地址: | 710100 陕西*** | 国省代码: | 陕西;61 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 磁场 装置 生长 设备 | ||
1.磁场装置,用于在单晶炉(1)中产生磁场,所述磁场装置套设于所述单晶炉(1)外,其特征在于,所述磁场装置与所述单晶炉(1)相对的方向具有贯穿所述磁场装置的取光孔(26),所述磁场装置还包括安装架(201)和测温仪(203),所述安装架(201)固定设置于所述取光孔(26)中,所述测温仪(203)通过所述安装架(201)安装于所述取光孔(26)内。
2.如权利要求1所述的磁场装置,其特征在于,所述测温仪(203)具有外螺纹,所述安装架(201)开设具有内螺纹的安装孔(204),所述测温仪(203)通过其外螺纹与所述安装孔(204)的内螺纹之间的配合固定于所述安装架(201)。
3.如权利要求1所述的磁场装置,其特征在于,所述磁场装置还包括位于所述取光孔(26)内的透光密封片(28),所述透光密封片(28)位于所述内导磁板(22)与所述安装架(201)之间。
4.如权利要求3所述的磁场装置,其特征在于,所述磁场装置还包括至少一个密封垫圈(29),所述至少一个密封垫圈(29)与所述透光密封片(28)配合,将所述透光密封片(28)密封于所述取光孔(26)内。
5.如权利要求1至4中任一项所述的磁场装置,其特征在于,所述安装架(201)开设多个固定孔(205),所述磁场装置还包括与多个所述固定孔(205)一一对应的多个固定件(202),所述安装架(201)通过多个所述固定件(202)与多个所述固定孔(205)的配合固定于所述取光孔(26)。
6.如权利要求5所述的磁场装置,其特征在于,所述磁场装置上还设有与多个所述固定孔(205)及多个固定件(202)一一对应的固定配合孔(27),每个所述固定件(202)均依次穿过一个对应的固定孔(205)及固定配合孔(27),将所述安装架(201)固定于所述磁场装置。
7.如权利要求6所述的磁场装置,其特征在于,所述磁场装置还包括内导磁板(22)、磁体(21)和外导磁板(23),所述内导磁板(22)与单晶炉(1)的外炉筒壁(12)相接触,所述磁体(21)位于所述内导磁板(22)和外导磁板(23)之间,所述外导磁板(23)位于所述磁场装置远离所述单晶炉的一侧,所述取光孔(26)依次穿过所述内导磁板(22)、磁体(21)和外导磁板(23)。
8.单晶生长设备,其特征在于,包括单晶炉(1)和如权利要求1至7中任一项所述的磁场装置,所述磁场装置套设于所述单晶炉(1)外。
9.如权利要求8所述的单晶生长设备,其特征在于,所述单晶炉(1)具有通孔(14),所述磁场装置具有贯穿所述磁场装置的取光孔(26),所述取光孔(26)与所述通孔(14)相连通。
10.如权利要求8所述的单晶生长设备,其特征在于,所述内导磁板(22)与单晶炉(1)的外炉筒壁(12)贴合接触,所述单晶生长设备还包括支撑体(3),所述支撑体(3)突出于单晶炉(1)并支撑所述磁场装置。
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