[实用新型]变刚度锥形螺旋弹簧阵列抛光盘

权利要求书

1.变刚度锥形螺旋弹簧阵列抛光盘，其特征在于：包括抛光盘本体、锥形螺旋弹簧阵列、抛光垫以及半球形支架，所述抛光盘本体的上部设有抛光腔，所述抛光盘本体底部与受电机驱动的旋转工作台固接，实现抛光盘本体绕其中心轴周向旋转；所述抛光盘本体的抛光腔内底面装有锥形螺旋弹簧阵列；所述锥形螺旋弹簧阵列的上表面贴覆用于支撑磨粒和防水保护的抛光垫；所述锥形螺旋弹簧阵列包括若干相互独立的锥形螺旋弹簧，每个锥形螺旋弹簧对应一个半球形支架，所述锥形螺旋弹簧的小口径端与所述抛光盘本体的内底面固接，所述锥形螺旋弹簧的大口径端与相应的半球形支架底部固接，所述半球形支架上部的弧形曲线与抛光垫的下表面接触；所述抛光垫的边沿与所述抛光盘本体的抛光腔内壁密封贴合，所述抛光垫的上表面覆盖磨粒层，并且磨粒层上填充用于润滑和散热的抛光液。

2.如权利要求1所述的变刚度锥形螺旋弹簧阵列抛光盘，其特征在于：所述锥形螺旋弹簧的纵向高度一致，并且所述锥形螺旋弹簧沿其轴向从上到下相邻节距渐减，相邻螺旋升角渐减。

3.如权利要求2所述的变刚度锥形螺旋弹簧阵列抛光盘，其特征在于：所述锥形螺旋弹簧均匀分布在抛光盘本体的内底面。

4.如权利要求1所述的变刚度锥形螺旋弹簧阵列抛光盘，其特征在于：相邻两个所述半球形支架弧形曲面之间存在用于容纳抛光垫冗余部分的空间。

5.如权利要求4所述的变刚度锥形螺旋弹簧阵列抛光盘，其特征在于：所述抛光垫为复合薄膜，复合薄膜是由聚合有机硅和无机多聚体构成，厚度为0.5mm～2mm。