[实用新型]光谱仪纯化设备

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种光谱仪纯化设备，用于快速生产超纯氩气供光谱仪等使用。

背景技术

随着我国经济的发展，高纯气在工业生产中的使用越来越普遍，高纯气用的纯化装置的需求也大大提高。

光谱仪，又称分光仪，广泛为认知的为直读光谱仪。以光电倍增管等光探测器测量谱线不同波长位置强度的装置。其构造由一个入射狭缝，一个色散系统，一个成像系统和一个或多个出射狭缝组成。以色散元件将辐射源的电磁辐射分离出所需要的波长或波长区域，并在选定的波长上(或扫描某一波段)进行强度测定。分为单色仪和多色仪两种。

光谱仪在使用过程中会用到高纯度的氩气，光谱仪使用的氩气纯度要求≥99.996％,其纯度不够的氩气将导致以下后果：1.校正系数超出要求范围，标准化系数偏高。2.激发光源不激发及跳闸。3.激发时扩散放电，激发点呈白色(白点)，强度降低，样品表面无侵蚀，分析数据不准确。4.分析数据不稳定，特别是分析波长较低的元素如：C、P、S等，还有一些高合金铸件、铸铝、铸铁、纯金属等。

目前缺少一种小型的超纯氩气净化装置，配套光谱仪进行使用。

实用新型内容

根据以上现有技术中的不足，本实用新型要解决的技术问题是：提供一种解决了上述缺陷的，体积小，结构简单，可以快速提供超纯氩气的光谱仪纯化设备。

本实用新型解决其技术问题所采用的技术方案是：光谱仪纯化设备包括液氩储罐，液氩储罐的出液口经低温泵连接至汽化器，汽化器与脱氧纯化器相连接，脱氧纯化器的出气口连接至高温反应器，高温反应器的出口端经过冷却器后与过滤器相连接，过滤器的出气口连接至氩气钢瓶，高温反应器内放置有吸附剂。

所述的过滤器为陶瓷纳米过滤器。过滤效果更为优秀。

使用原理为：

使用时，首先将液氩储罐内的液态氩使用低温泵打入汽化器，将液氩转化为氩气，再将氩气通入脱氧纯化器，将氧气含量降低到0.5ppm以内，随后将氩气通入加温到600℃的高温反应器中，将氩气里的氧、氮、氢、一氧化碳、二氧化碳、碳氢化合物等进行吸附反应，将杂质含量大大降低到0.01ppm以内，然后经过冷却器将氩气降温至35℃以内，再经过过滤器进一步过滤，过滤后的超纯氩气存入钢瓶内，供光谱仪等设备使用。

本实用新型所具有的有益效果是：本实用新型结构简单，占用体积少，在将液态氩转化为氩气后，经过脱氧纯化器、高温反应器和过滤器的多重处理，可以快速的生成超纯氩气，并存入钢瓶内，供光谱仪等设备使用。

附图说明

图1是本实用新型的结构示意图。

图中：1、液氩储罐；2、低温泵；3、汽化器；4、脱氧纯化器；5、高温反应器；6、冷却器；7、过滤器；8、氩气钢瓶。

具体实施方式

下面结合附图对本实用新型的实施例做进一步描述：

如图1所示，光谱仪纯化设备包括液氩储罐1，液氩储罐1的出液口经低温泵2连接至汽化器3，汽化器3与脱氧纯化器4相连接，脱氧纯化器4的出气口连接至高温反应器5，高温反应器5的出口端经过冷却器6后与过滤器7相连接，过滤器7的出气口连接至氩气钢瓶8，高温反应器5内放置有吸附剂。

所述的过滤器7为陶瓷纳米过滤器。

使用原理为：

使用时，首先将液氩储罐1内的液态氩使用低温泵2打入汽化器3，将液氩转化为氩气，再将氩气通入脱氧纯化器4，将氧气含量降低到0.5ppm以内，随后将氩气通入加温到600℃的高温反应器5中，将氩气里的氧、氮、氢、一氧化碳、二氧化碳、碳氢化合物等进行吸附反应，将杂质含量大大降低到0.01ppm以内，然后经过冷却器6将氩气降温至35℃以内，再经过过滤器7进一步过滤，过滤后的超纯氩气存入钢瓶8内，供光谱仪等设备使用。