[实用新型]一种LED光源曝光系统

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种曝光系统，特别是一种LED光源曝光系统。

背景技术

传统紫外光源曝光系统的光源为汞灯，汞灯的缺点是造价高，寿命短、耗电高、安全性能差且不环保，而紫外LED光源寿命长，耗电小，安全且环保的优点，并且传统汞灯的匀光系统，结构较复杂，调试繁琐，光在传输过程中能量损耗大。LED光源的发展，紫外LED在光照明系统中的应用越来越多，但对于LED紫外光的收集和匀光效果尚不理想。

发明内容

本实用新型目的是提供一种耗电省、寿命长、成本低、安全性能好、环保和紫外光的收集及匀光效果好的一种LED光源曝光系统。

本实用新型的技术方案是，一种LED光源曝光系统，包括光源、匀光器、透镜和反射镜，其特征在于:所述光源为LED芯片，锥形光棒的小直径端面与所述LED芯片相对，所述匀光器为锥形匀光器，所述锥形光棒的大直径端与锥形匀光器的小直径端对接，所述透镜由两个透镜组成的透镜组，其中一侧的透镜的平端面与所述锥形光棒的大直径端面相对，而另一侧的透镜的平端面与斜置的反射镜的反射面相对，该反射镜的反射面与其下方的另一透镜的平端面相对。所述锥形光棒为实心光棒，所述锥形匀光器为锥形实心光棒或锥形空心光棒。所述锥形光棒为实心光棒，而锥形匀光器为锥形空心光棒。

本实用新型与现有技术比较具有节电、寿命长、成本低、安全和环保且紫外光的收集及匀光效果好的优点。

附图说明

图1是本实用新型的结构示意图。

具体实施方式

本实用新型为了解决现有技术存在的缺陷，采用如图1所示的技术方案，LED芯片1与锥形光棒2的小直径端相对，该锥形光棒的大直径端与锥形匀光器3的小直径端对接，该锥形匀光器的大直径端与透镜组4左侧的透镜的平端面相对，该透镜组右侧的透镜的平端面与斜置的反射镜5的反射面相对，此反射镜的反射面与下方的透镜6的平端面相对，上述的锥形光棒为实心光棒，所述锥形匀光器为空心光棒，所述锥形光棒和锥形匀光器的材质均为玻璃或石英，锥形光棒的端面镀有紫外增透膜，锥形匀光器的内表面镀有紫外反射膜。所述透镜组的两个透镜的表面和透镜6的表面均镀有增透膜。

最佳的组合方案是锥形光棒为实心光棒，锥形匀光器为空心的锥形匀光器，匀光效果最好，光能利用效率更高，且生产成本也较低。

本实用新型结构简单，可用MEMS加工、蓝宝石衬底，半导体光刻等领域能显著提高生产效率。