[实用新型]一种刻蚀机的防静电结构有效
| 申请号： | 201720250378.6 | 申请日： | 2017-03-15 |
| 公开（公告）号： | CN206542619U | 公开（公告）日： | 2017-10-03 |
| 发明（设计）人： | 周军;党继东;李栋;刘东续 | 申请（专利权）人： | 苏州阿特斯阳光电力科技有限公司;盐城阿特斯协鑫阳光电力科技有限公司 |
| 主分类号： | H05F3/06 | 分类号： | H05F3/06;H01L21/67;H01L31/18 |
| 代理公司： | 苏州翔远专利代理事务所(普通合伙)32251 | 代理人： | 陆金星 |
| 地址： | 215129 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 刻蚀 静电 结构 | ||
1.一种刻蚀机的防静电结构，其特征在于：包括离子风机和送风管道，所述离子风机的出风口与送风管道的入口连接，所述送风管道的出口设有一喷淋头，喷淋头的喷淋口朝向硅片的传输平面布置。
2.根据权利要求1所述的刻蚀机的防静电结构，其特征在于：所述喷淋头的宽度与硅片宽度相匹配，硅片宽度为硅片上垂直于传输方向的宽度。
3.根据权利要求2所述的刻蚀机的防静电结构，其特征在于：所述喷淋头的宽度大于或等于硅片宽度。
4.根据权利要求1所述的刻蚀机的防静电结构，其特征在于：所述喷淋头上开设有喷淋孔，喷淋孔的孔径范围为1~2mm。
5.根据权利要求1所述的刻蚀机的防静电结构，其特征在于：所述送风管道的出口位于刻蚀机机台风刀后的下料口处。
6.根据权利要求1所述的刻蚀机的防静电结构，其特征在于：所述送风管道的出口设于硅片传输平面的上方，距离硅片传输平面5~20厘米。
7.根据权利要求1所述的刻蚀机的防静电结构，其特征在于：所述送风管道的出口设于硅片传输平面的上方，距离硅片传输平面10~15厘米。
8.根据权利要求1所述的刻蚀机的防静电结构，其特征在于：所述离子风机上设置有电压调节装置。
9.根据权利要求1所述的刻蚀机的防静电结构，其特征在于：还包括一气流调节阀，该气流调节阀设于离子风机出风口或送风管道上。
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