[实用新型]干涉仪测量系统定位测头

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种干涉仪测量系统定位测头，属于光学加工技术领域。

背景技术

现有的干涉仪测量系统间距无法达到预期测量效果和精度，达到测量精度的测量系统成本过高。以带有补偿器的非球面检测为例，搭建光路时需要确定补偿器镜面和非球面的顶点的准确距离，目前现有的技术是通过激光跟踪仪来搭建三维虚拟模型，使用跟踪球头来定位补偿器镜面和非球面顶点的空间坐标，来计算两点之间的距离，这种方法不仅成本高昂，而且使用方法复杂，测量过程繁复。

实用新型内容

本实用新型为了解决现有干涉仪测量系统测量复杂且成本高的问题，提供一种干涉仪测量系统定位测头。

本实用新型的技术方案是：

干涉仪测量系统定位测头，其特征是，其包括双触头测量表、表架和六维调整架，表架上表面设置凹槽，双触头测量表设置在表架的凹槽内，表架的下端与六维调整架螺纹连接，六维调整架可调整表架的精确位置。

六维调整架与干涉仪导轨上的光栅尺载物台螺纹连接。

本实用新型中的干涉仪测量系统定位测头，结构简单，制作成本低廉，并且能够保证干涉仪测量定位系统的精度需求，最主要的是可以保证在干涉仪测量定位中的广泛适应性。

附图说明

图1是本实用新型干涉仪测量系统定位测头的侧视图；

图中：1、双触头测量表；2、表架；3、六维调整架；4、光栅尺载物台。

具体实施方式

下面结合附图对本实用新型作进一步的描述。

如图1所示，干涉仪测量系统定位测头，包括双触头测量表1、表架2和六维调整架3。表架2上表面设置凹槽，双触头测量表1设置在表架2的凹槽内，表架2的下端设有螺纹，其与六维调整架3螺纹连接，六维调整架3可调整表架的精确位置。应用时，六维调整架3与干涉仪导轨上的光栅尺载物台4以螺纹连接，保证位置不变。

所述的双触头测量表1具有系统定位所需要的精度。

表架2为304不锈钢材质。

以有补偿器的非球面检测为例，将本实用新型的结构装在卧式干涉仪的导轨上，导轨本身设有测量用的光栅尺，当光栅尺载物台移动到补偿镜镜面附近时，双触头测量表的一端接触补偿镜镜面，记下测量表上的数值，在将光栅尺载物台移动到非球面的顶点附近，以双触头测量表的另一端接触非球面顶点，通过光栅尺读数以及双触头测量表读数构成闭合的尺寸链，从而得到补偿器镜面距离非球面的顶点之间的距离。