[实用新型]蓝宝石长晶炉置换坩埚装置

权利要求书

1.一种蓝宝石长晶炉置换坩埚装置，其特征在于，所述装置包括：晶体生长室(100)和坩埚置换室(200)；

所述晶体生长室(100)设置于所述坩埚置换室(200)的顶部；

所述晶体生长室(100)的底部与所述坩埚置换室(200)连通，所述晶体生长室(100)与所述坩埚置换室(200)相连通的区域设置有开合部件(101)；

所述坩埚置换室(200)内部设置有冷却平台(201)、换料平台(202)、上下料平台(205)以及坩埚运送组件；

所述上下料平台(205)、所述冷却平台(201)以及所述换料平台(202)在所述坩埚置换室(200)内部沿同一方向依次设置，所述上下料平台(205)位于所述晶体生长室(100)的底部，所述坩埚运送组件设置于所述上下料平台(205)、所述冷却平台(201)以及所述换料平台(202)的一侧。

2.如权利要求1所述的装置，其特征在于，所述坩埚运送组件包括：沿水平方向设置的滑轨(203)，以及与所述滑轨(203)滑动连接的机械手(204)，所述滑轨(203)的长度大于所述上下料平台(205)与所述换料平台(202)之间的距离。

3.如权利要求2所述的装置，其特征在于，所述滑轨(203)包括主干轨道(2030)，以及分别与所述主轨道(2030)连接的第一分支轨道(2031)、第二分支轨道(2032)以及第三分支轨道(2033)；

所述主干轨道(2030)与所述上下料平台(205)、所述冷却平台(201)以及所述换料平台(202)的排布方向平行；

所述第一分支轨道(2031)朝向所述上下料平台(205)的方向延伸，所述第二分支轨道(2032)朝向所述冷却平台(201)的方向延伸，所述第三分支轨道(2033)朝向所述换料平台(202)的方向延伸。

4.如权利要求3所述的装置，其特征在于，所述主干轨道(2030)两端设置有竖直滑轨(2034)，所述主干轨道(2030)两端与所述竖直滑轨(2034)滑动连接，所述主干轨道(2030)底部设置有升降气缸(2035)。

5.如权利要求1所述的装置，其特征在于，所述装置还包括真空泵(206)，所述真空泵(206)与所述坩埚置换室(200)连接。

6.如权利要求1所述的装置，其特征在于，所述开合部件(101)是法兰盘。

7.如权利要求1所述的装置，其特征在于，所述冷却平台(201)、所述换料平台(202)以及所述上下料平台(205)为液压式升降平台。