[实用新型]对位镜头和曝光机有效
申请号: | 201720239367.8 | 申请日: | 2017-03-13 |
公开(公告)号: | CN206541125U | 公开(公告)日: | 2017-10-03 |
发明(设计)人: | 白鑫;郝明迁;白银桥 | 申请(专利权)人: | 京东方科技集团股份有限公司;鄂尔多斯市源盛光电有限责任公司 |
主分类号: | G03F9/00 | 分类号: | G03F9/00 |
代理公司: | 北京同达信恒知识产权代理有限公司11291 | 代理人: | 郭润湘 |
地址: | 100015 *** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 对位 镜头 曝光 | ||
技术领域
本实用新型涉及显示器制备技术领域,尤其涉及一种对位镜头和曝光机。
背景技术
现有技术彩色滤光片的制作多采用接近式曝光机曝光的方式,通常在使用接近式曝光机时,玻璃基板上的对位标记(Work mark)与掩模板上的对位标记(Mask mark)进行对位时,周围环境内的光线较暗,对位镜头很难找到两种对位标记,因此在对位镜头四周需要设置辅助光源。
如图1所示,在对位进行时,辅助光源03向下方投射光线,便于对位镜头01找到对位标记02并完成对位。而在现阶段高色域彩膜基板的生产过程中,在满足色度要求的前提下,光刻胶涂布的厚度不断增大,单一颜色的辅助光源发出的光线在穿透掩模板与光刻胶后,大部分光线会被散射或吸收,反射的光线强度减弱,如图2所示,这样会导致聚焦清晰度过低(即聚焦得分值Score值低于阈值),进而会造成对位失败或对位精度下降现象的发生,在生产高分辨率彩膜基板时,很容易造成像素漏光或混色,影响显示装置的显示效果。
实用新型内容
本实用新型提供了一种对位镜头和曝光机,用以提高对位的准确性和方便性,提高显示装置的成品率。
为达到上述目的,本实用新型提供以下技术方案:
本实用新型提供了一种对位镜头,用于曝光机中,包括:
镜头本体,所述镜头本体的周围分布有至少两种颜色的光源,且每种颜色的所述光源的亮度可调;
与镜头本体信号连接的控制器,所述控制器用于当所述镜头本体采集到的聚焦得分值小于预先设定的阈值时产生报警信号;
与所述控制器信号连接的报警器,所述报警器根据接收到的报警信号产生告警。
本实用新型提供的对位镜头,通过设置至少两种颜色的光源,并将光源的亮度设置的可以调节,提高光源照射向掩模板和光刻胶后反射的光线的强度,可以提高对位标记的亮度,同时通过设置的控制器和报警装置,便于提醒操作人员调节每种颜色的光源的亮度,以使得对位镜头本体在最佳的亮度下对掩模板和基板进行对位。
故本实用新型提供的对位镜头,可以提高对位的准确性和方便性,提高显示装置的成品率。
在一些可选的实施方式中,每种颜色的所述光源均包括:多个围绕所述镜头本体分布的发光单元。将光源选择的颜色多一些,能够更好的提高光源射向掩模板和光刻胶后反射的光线的强度。
在一些可选的实施方式中,每种颜色的所述光源内的发光单元呈圆形分布或呈矩形分布。这样可以使得光源发出的每种颜色的光分散些。
在一些可选的实施方式中,每个所述发光单元为发光二极管。
在一些可选的实施方式中,所述光源为四种颜色,沿所述镜头本体的半径的延伸方向、四种颜色的所述光源依次排列。
在一些可选的实施方式中,四种颜色的所述光源分别为红色光源、绿色光源、蓝色光源和白色光源。
在一些可选的实施方式中,四种颜色的所述光源分别为红色光源、绿色光源、蓝色光源和黄色光源。
在一些可选的实施方式中,上述对位镜头,还包括:
记录器,所述记录器与所述镜头本体信号连接,当对位成功时,所述记录器保存此时各个光源对应的亮度值。记录器的设置,可以便于操作人员下次再对同样的基板进行对位时可以直接控制光源输出对应的亮度,不需要再次调节光源的亮度,这样可以提高制备效率。
在一些可选的实施方式中,上述对位镜头还包括:用于调节每种颜色的光源亮度的调节钮。
本实用新型还提供了一种曝光机,包括上述任一项所述的对位镜头。由于上述对位镜头可以提高对位的准确性和方便性,提高显示装置的成品率。故本实用新型提供的曝光机具有较好的实用性和较好的曝光效率。
附图说明
图1为现有技术中的对位镜头的结构示意图;
图2为现有技术中的对位镜头采集到的对位标记的结构示意图;
图3为本实用新型实施例提供的对位镜头的结构示意图;
图4为本实用新型实施例提供的对位镜头采集到的对位标记的结构示意图;
图5为本实用新型提供的曝光机的一种结构示意图;
图6为本实用新型提供的曝光机的一种使用流程图。
附图标记:
01-对位镜头02-对位标记
03-辅助光源1-对位镜头
11-镜头本体12-光源
2-掩模板 3-掩模板支撑台
4-光刻胶层 5-基板
6-基板支撑台 7-对位标记
具体实施方式
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