[实用新型]一种用于镀膜室的冷却装置

权利要求书

1.一种用于镀膜室的冷却装置，其特征在于：在第一室体(15)与第二室体(16)之间至少设置一组冷却管(4)，所述冷却管(4)的一端通过第一支撑结构固定，所述第一支撑结构设置于第一室体(15)上；所述冷却管(4)的另一端通过第二支撑结构固定，所述第二支撑结构设置于第二室体(16)上；于所述冷却管(4)的两端顺序连接螺纹管接头(5)，所述螺纹管接头(5)的端部伸入第一室体(15)的贯通孔内。

2.如权利要求1所述的一种用于镀膜室的冷却装置，其特征在于：所述冷却管(4)由上管与下管连通形成U型扁平水管，所述冷却管(4)采用铜、不锈钢或铝材料制成。

3.如权利要求1所述的一种用于镀膜室的冷却装置，其特征在于：于所述螺纹管接头(5)与第一室体(15)中贯通孔孔口的连接处、沿所述螺纹管接头(5)的外周还设置密封套(9)，在所述密封套(9)内设置密封胶圈(10)。

4.如权利要求1所述的一种用于镀膜室的冷却装置，其特征在于：所述冷却管(4)为两组或两组以上时，在各冷却管(4)的两侧还分别设置用于夹紧冷却管(4)的外支撑板(13)，于两块外支撑板(13)之间还通过第一夹紧螺钉(1)固接。

5.如权利要求1所述的一种用于镀膜室的冷却装置，其特征在于：若所述冷却管(4)为两组或两组以上时，各冷却管(4)的首部及尾部依次串联连通形成多管式结构。

6.如权利要求1所述的一种用于镀膜室的冷却装置，其特征在于：若所述冷却管(4)为一组时，所述第一支撑结构包括与第一室体(15)连接的第三固定板(8)，所述第三固定板(8)的一端通过第二固定螺钉(7)固接第二固定板(6)，在所述第二固定板(6)的上表面向外延伸形成用于支撑冷却管(4)中上管的上凸台(601)，在所述第二固定板(6)的下表面向外延伸形成用于支撑冷却管(4)中下管的下凸台(602)；所述第二支撑结构包括第一固定板(3)，所述第一固定板(3)通过第一固定螺钉(2)固接于第二室体(16)。

7.如权利要求1所述的一种用于镀膜室的冷却装置，其特征在于：若所述冷却管(4)为两组或两组以上时，所述第一支撑结构包括多块与第一室体(15)固接的第三固定板(8)，所述第三固定板(8)的一端连接一根第六固定板(17)；所述第二支撑结构包括多块第五固定板(14)，各第五固定板(14)均与另一根第四固定板(12)固接，所述第六固定板(17)与第四固定板(12)互为平行布置。