[实用新型]取晶车

说明书

技术领域

本实用新型涉及单晶制造辅助设备，特别涉及一种取晶车。

背景技术

单晶硅的制作工艺其中一步是拉晶，所谓拉晶就是用拉晶炉把多晶硅加热融化，再用子晶向上拉引，慢慢形成一个长筒状的单晶棒，在单晶棒从单拉晶炉中出来的时候需要采用取晶车进行接送。

取晶车通常包括车架，在车架上会设置有接收晶棒的支撑架，所述支撑架呈长条状设置，在支撑架的底部设置有用于定位晶棒的支撑座，所述支撑架整体可以沿车架从平行于车架的方向旋转至垂直于车架方向，在支撑架垂直于车架的时候，所述车架上还设置有用于推动支撑架在垂直方向上升降的升降机构，在支撑架上升至与拉晶炉高度相仿处将晶棒承接住后，支撑架再退回至原位，在旋转至与车架平行的状态，通过外部的液压机械手将晶棒从支撑架内取出。

如申请号为201520065572.8公开的一种晶棒装卸车，该专利中记载了晶棒框通过滚珠丝杠的方式进行动力传动，滚珠丝杠是一种高精度精密传送件，而且滚珠丝杠在造价上高昂并不是适用于大量市场推广。

实用新型内容

本实用新型的目的是提供一种取晶车，保证原有的功能前提下，降低造价成本，便于推广。

本实用新型的上述技术目的是通过以下技术方案得以实现的：

一种取晶车，包括车架以及用于存放晶棒的支撑架，其特征是，所述车架上设置有带动支撑架升降的驱动组件，所述驱动组件包括有座体以及设置于座体上的导槽，所述支撑架朝向座体一侧端面设置有与导槽配合的导轨，所述导轨沿支撑架的长度方向延伸，所述座体上还设置有齿轮以及驱动齿轮转动的驱动电机，所述支撑架朝向座体一侧端面上设置有与齿轮配合的齿条，所述齿条固定于支撑架上且所述齿条沿支撑架的长度方向设置。

进一步的，所述座体上设置有轴承座，所述轴承座之间轴向定位有转轴，所述齿轮固定于转轴上，所述转轴与驱动电机之间设置有二级齿轮减速器。

进一步的，所述导轨的数量为两条，两条所述导轨沿支撑架的宽度方向间隔设置，所述齿条位于两条导轨之间，对应于每一条导轨设置有两条导槽，四条导槽位于座体的端部。

进一步的，所述座体上设置有行程开关，所述行程开关位于齿轮的上方，所述支撑架在其长度方向的顶部设置有与行程开关配合的抵触部。

采用上述结构，晶棒在输送过程中在轴向方向受到晶棒的重力作用，另外的需要晶棒在运输过程中比较慢速平稳，所以采用驱动电机通过二级齿轮减速器给齿轮所在的转轴输出低转速高扭矩，从而达到了上述要求，另外也解决了滚珠丝杠造价高昂的问题。

附图说明

图1是立体结构示意图；

图2是另一个视角的立体结构示意图；

图3是去除车架部分的结构示意图。

图中，1、支撑架；11、定位板；12、底座；2、连接组件；21、槽钢；22、连接杆；3、支撑座；4、驱动组件；41、座体；42、导槽；43、轴承座；44、转轴；45、齿轮；46、齿条；47、行程开关；48、抵触部；5、导轨；6、二级齿轮减速器；7、驱动电机。

具体实施方式

一种取晶车，包括车架以及用于存放晶棒的支撑架1，所述车架上设置有带动支撑架1升降的驱动组件4，所述驱动组件4包括有座体41以及设置于座体41上的导槽42，所述支撑架1包括有底座12以及定位板11，所述底座12与定位板11之间通过设置连接组件2形成一体，所述连接组件2包括有焊接于底座12上的槽钢21以及固定于槽钢21上的连接杆22，所述连接杆22一端固定于槽钢21上另一端固定于定位板11上，所述底座12、定位板11以及连接组件2之间形成有用于放置晶棒的空间，所述定位板11与底座12之间设置有用于支撑晶棒的支撑座3，所述支撑座3固定于定位板11上，所以带动底座12运动便可以带动支撑架1整体升降，所述底座12朝向驱动组件4一侧设置有导轨5，所述导轨5的数量为两条，每一条导轨5均沿座体41的长度方向设置，两条所述导轨5之间沿座体41的宽度方向间隔布置，两个导轨5之间设置有齿条46，对应于齿条46，所述座体41上设置有与齿条46啮合的齿轮45，所述座体41上设置有两个间隔设置的轴承座43，所述轴承座43上轴向定位有转轴44，所述齿轮45固定于该转轴44上，所述转轴44的其中一个轴端伸出轴承座43与驱动电机7相联动，所述驱动电机7与该转轴44的轴端之间还增设有二级齿轮减速器6，所述二级齿轮减速器6包括有锥齿轮组和斜齿轮组，所述锥齿轮组作为第一级进行换向，所述锥齿轮组与驱动电机7联动，所述锥齿轮组另一端与斜齿轮组连接，所述斜齿轮组实现了减速并将动力输送至转轴44上。