[实用新型]一种温湿度传感器有效
| 申请号： | 201720224642.9 | 申请日： | 2017-03-09 |
| 公开（公告）号： | CN206540576U | 公开（公告）日： | 2017-10-03 |
| 发明（设计）人： | 付俊;戴煊龙;常伟;籍庆校;任万伟 | 申请（专利权）人： | 宝力马（苏州）传感技术有限公司 |
| 主分类号： | G01D21/02 | 分类号： | G01D21/02 |
| 代理公司： | 苏州市中南伟业知识产权代理事务所(普通合伙)32257 | 代理人： | 李广 |
| 地址： | 215000 江苏省苏州市工业园区*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 温湿度 传感器 | ||
1.一种温湿度传感器，包括衬板，其特征在于：所述衬板上设有湿度敏感单元、设于所述湿度敏感单元的外围的温度敏感单元，所述温度敏感单元工作时对所述湿度敏感单元进行加热，所述衬板上还设有湿度焊盘、温度焊盘以及公共焊盘，所述湿度敏感单元一端电连接所述湿度焊盘，另一端电连接所述公共焊盘，所述温度敏感单元一端电连接所述温度焊盘，另一端电连接所述公共焊盘。
2.根据权利要求1所述的一种温湿度传感器，其特征在于：所述湿度敏感单元采用三明治结构，包括上电极、设置在其下方的下电极和包裹在两者之间的感湿介质，所述上电极电连接所述湿度焊盘，所述下电极电连接所述公共焊盘。
3.根据权利要求2所述的一种温湿度传感器，其特征在于：所述上电极上开设有网状微孔结构，所述感湿介质通过所述微孔连通外界空气。
4.根据权利要求1所述的一种温湿度传感器，其特征在于：所述湿度敏感单元采用叉指结构，包括第一电极、嵌设于所述第一电极内的第二电极和填充在两者连接形成的空隙中的感湿介质，所述第一电极与所述第二电极采用叉指形状且交错排列，所述第一电极电连接所述公共焊盘，所述第二电极电连接所述湿度焊盘。
5.根据权利要求4所述的一种温湿度传感器，其特征在于：所述感湿介质采用高分子材料，选用聚亚酰胺或聚苯乙烯。
6.根据权利要求1所述的一种温湿度传感器，其特征在于：所述温度敏感单元采用Pt热敏电阻。
7.根据权利要求1或6所述的一种温湿度传感器，其特征在于：所述温度敏感单元采用C型环蛇结构，与所述湿度敏感单元的形状、结构以及尺寸相匹配。
8.根据权利要求1所述的一种温湿度传感器，其特征在于：所述衬板采用陶瓷衬板或蓝宝石衬板，其厚度为0.1～0.5mm。
9.根据权利要求1所述的一种温湿度传感器，其特征在于：所述湿度焊盘、温度焊盘和公共焊盘采用金属材料，选用Pt、Cr或Au中的任一种。
10.根据权利要求1所述的一种温湿度传感器，其特征在于：所述衬板上设有采用磁控溅射形成的金属层，所述金属层上设有采用刻蚀形成的所述温度敏感单元、湿度焊盘、温度焊盘以及公共焊盘。
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