[实用新型]一体化连续式等离子清洗设备

说明书

技术领域

本实用新型涉及一体化连续式等离子清洗设备，特别是一体化连续式等离子清洗设备的真空系统。

背景技术

等离子清洗是在真空室内采用高压（1000-3000V）直流或交流电场作用下进行的。清洗时将待处理的工件放入装有电极板的真空室内，当真空度达到5.0E-1Pa以上时，向真空室中通入氮气，并调节氮气流量为50-100sccm之间。通入电源后，此时电极产生辉光放电，产生氮离子和高能氮原子。通过高能氮原子在真空室内做无规律的运动而对工件也能进行碰撞，将自身的能量传递给工件，对工件起到清洗的作用。

以前清洗都是人工打开真空室门然后将工件一件件放入，然后关闭真空室门进行清洗，上述过程耗时耗人，因而生产效率低，因而本人设计了一台可流水作业连续清洗的一体化连续式等离子清洗设备，特别是该设备的真空系统。

发明内容

为了克服现有技术的不足，本实用新型提供一体化连续式等离子清洗设备。

本实用新型解决其技术问题所采用的技术方案是：

一体化连续式等离子清洗设备，其特征在于：包括支撑架及传送台，支撑架包括安装底架及顶架，底架上安装有下密封台及升举气缸，顶架上安装有上真空罐及下推气缸，所述上真空罐与升举气缸及下推气缸连接，从而实现升降动作，所述下密封台上设有导向槽，所述传送台上的传送带位于导向槽内，且传送带的上表面高于下密封台表面，所述上真空罐的两侧设有密封凹槽，所述上真空罐的开口边缘及密封凹槽内均设有密封胶条，从而当上真空罐下降与下密封台紧密接触时能够形成真空腔体，所述传送带能够嵌入密封凹槽。

所述开口边缘及密封凹槽上均设有密封槽，所述密封胶条嵌入密封槽中。

所述方形框架上还安装有罗茨泵、机械泵以及电气柜，所述真空腔体通过真空阀门连接罗茨泵，所述罗茨泵与机械泵通过金属管连接。

本实用新型的有益效果是：本实用新型是利用特制传送带将待清洗的产品从传送台的一侧传送至上真空罐及下密封台间，此时上真空罐与下密封台紧密接触密封构成真空腔体，产品在真空腔体内进行等离子清洗。清洗完成后，上真空罐打开，传送带将清洗完成的产品从另一侧传送至下一道工序，如此循环，本设备可流水作业，并且自动化程度高，大大减少了人员，并减少了清洗过程中的时间，从而大大提高了生产效率。

附图说明

下面结合附图和实施例对本实用新型进一步说明。

图1是本实用新型的正面示意图；

图2是上真空罐及密封台的截面示意图。

具体实施方式

参照图1、图2，本实用新型公开了一体化连续式等离子清洗设备，包括支撑架1及传送台2，支撑架1包括底架11及顶架12，底架11上安装有下密封台3及升举气缸4，顶架12上安装有上真空罐5及下推气缸6，所述上真空罐5与升举气缸4及下推气缸6连接，且上真空罐5两侧焊有连接板13，所述升举气缸4通过连接板13与上真空罐5连接，从而实现升降动作，所述下密封台3上设有导向槽，所述传送台2上的传送带7位于导向槽内，且传送带7的上表面高于下密封台3表面，所述上真空罐5的两侧设有密封凹槽8，所述上真空罐5的开口边缘及密封凹槽8内均设有密封胶条9，从而当上真空罐5下降与下密封台3紧密接触时能够形成真空腔体，所述传送带7能够嵌入密封凹槽8。

所述开口边缘及密封凹槽8上均设有密封槽（图中未显示出），所述密封胶条9嵌入密封槽中。

所述方形框架上还安装有罗茨泵（图中未显示出）、机械泵（图中未显示出）以及电气柜（图中未显示出），所述真空腔体通过真空阀门（图中未显示出）连接罗茨泵，所述罗茨泵与机械泵通过金属管连接。

传送台2、罗茨泵、机械泵均是现有结构，因而具体不详述。

本设备工作原理简述为：通过工人将待清洗的产品放在传送台2上，通过传送带7向前输送，传送带7通过导向槽支撑并引导，因而不会跑偏，但是传送带7的上表面高于下密封台3表面，因而当产品输送到上真空罐5的开口下方后，上真空罐5通过下推气缸6推动下降使上真空罐5开口边缘及密封凹槽8内的密封胶条9与平整的下密封台3表面及围绕传送带7上表面及侧面紧密接触，从而构成一个密封的真空腔体，并通过罗茨泵、机械泵抽真空，清洗完成后通过升举气缸4将上真空罐5顶起，传送带7继续移动，将清洗后的产品送到传送台2的另一端，而将待清洗的产品又送到清洗位，从而循环。

以上对本实用新型实施例所提供的一体化连续式等离子清洗设备，进行了详细介绍，本文中应用了具体个例对本实用新型的原理及实施方式进行了阐述，以上实施例的说明只是用于帮助理解本实用新型的方法及其核心思想；同时，对于本领域的一般技术人员，依据本实用新型的思想，在具体实施方式及应用范围上均会有改变之处，综上所述，本说明书内容不应理解为对本实用新型的限制。