[实用新型]一种场致电子发射测试装置

权利要求书

1.一种场致电子发射测试装置，其特征在于：包括真空腔室、真空连接机构、阳极部分和阴极部分；

所述真空腔室为圆筒型，顶部中心设置有法兰，侧壁设置有第一连接口，所述第一连接口与真空连接机构连接，所述真空腔室的侧壁靠近底部位置设置有若干观察窗；

所述阳极部分设置在真空腔室的上部，包括操作杆、控制器和阳极，所述操作杆安装在真空腔室顶部法兰中心，所述控制器安装在操作杆上位于真空腔室的外侧，所述阳极连接在操作杆的下端；

所述阴极部分包括绕真空腔室底部中心圆周设置的若干样品台、与样品台一一对应连接的接线柱，所述样品台之间设置有绝缘挡板进行分隔，所述接线柱穿过真空腔室底部并与外部导线连接，所述样品台包括固定支座和样品架，所述样品台与真空腔室侧壁的观察窗位置相对应。

2.根据权利要求1所述的一种场致电子发射测试装置，其特征在于：所述真空连接机构为一个真空四通管，其中一个端口连接所述真空腔室的第一连接口，其余端口分别连接真空阀门，真空计和真空波纹管。

3.根据权利要求1所述的一种场致电子发射测试装置，其特征在于：所述操作杆包括第一竖杆、第一横杆和第二竖杆，所述第一竖杆安装在法兰中心，所述第二竖杆的轴心在所述样品台中心所在圆周的竖直面上，所述阳极固定在第二竖杆的底端。

4.根据权利要求1所述的一种场致电子发射测试装置，其特征在于：所述样品台的固定支座上有两个定位销，所述样品架底面有两个定位孔，固定支座的定位销与样品架的定位孔位置对应并能紧密配合连接，所述样品架采用绝缘材料，所述样品架上表面设置有铜片，所述铜片通过紧固螺钉连接在样品架上。

5.根据权利要求1或3所述的一种场致电子发射测试装置，其特征在于：所述操作杆末端设有螺纹，所述阳极通过螺纹与操作杆连接，所述阳极的几何中心与样品台中心共轴。

6.根据权利要求1或3所述的一种场致电子发射测试装置，其特征在于：所述控制器控制操作杆进行旋转和上下移动。