[实用新型]一种智能化酸性含铜蚀刻废液循环再生系统

权利要求书

1.一种智能化酸性含铜蚀刻废液循环再生系统，其特征在于：包括数字型自动化控制系统、蚀刻生产线、电解槽、电解铜储存容器、溶解吸收缸和再生液回收设备；数字型自动化控制系统分别与蚀刻生产线、电解槽、电解铜储存容器、溶解吸收缸和再生液回收设备电连接；电解槽的进口端与蚀刻生产线的出口端连接，电解槽的出口端分别与电解铜储存容器的进口端、溶解吸收缸的进口端、再生液回收设备的进口端连接，溶解吸收缸的出口端与蚀刻生产线的进口端连接，再生液回收设备的出口端与蚀刻生产线的进口端连接。

2.根据权利要求1所述的一种智能化酸性含铜蚀刻废液循环再生系统，其特征在于：所述电解槽包括依次连接的阳极室、离子隔膜和阴极室，离子隔膜的两侧分别与阳极室、阴极室连接。

3.根据权利要求2所述的一种智能化酸性含铜蚀刻废液循环再生系统，其特征在于：所述离子隔膜为阳离子交换隔膜或阴离子交换隔膜。

4.根据权利要求2所述的一种智能化酸性含铜蚀刻废液循环再生系统，其特征在于：所述阳极室中装有铜离子浓度为10-20g/L的酸性蚀刻废液。

5.根据权利要求2所述的一种智能化酸性含铜蚀刻废液循环再生系统，其特征在于：还包括酸性蚀刻废液储存容器，酸性蚀刻废液储存容器的进口端、出口端分别与蚀刻生产线的出口端、电解槽的进口端连接；酸性蚀刻废液储存容器与数字型自动化控制系统连接。

6.根据权利要求5所述的一种智能化酸性含铜蚀刻废液循环再生系统，其特征在于：还包括第一导流泵，第一导流泵的进口端、出口端分别与酸性蚀刻废液储存容器的出口端、阳极室的进口端连接；第一导流泵与数字型自动化控制系统连接。

7.根据权利要求5所述的一种智能化酸性含铜蚀刻废液循环再生系统，其特征在于：还包括第二导流泵，第二导流泵的进口端、出口端分别与酸性蚀刻废液储存容器的出口端、阴极室的进口端连接；第一导流泵与数字型自动化控制系统连接。

8.根据权利要求2所述的一种智能化酸性含铜蚀刻废液循环再生系统，其特征在于：还包括氯气回收设备，氯气回收设备的进口端与阳极室的出气端连接；氯气回收设备与数字型自动化控制系统电连接。

9.根据权利要求2所述的一种智能化酸性含铜蚀刻废液循环再生系统，其特征在于：还包括氢气回收设备，氢气回收设备的进口端与阴极室的出气端连接；氢气回收设备与数字型自动化控制系统电连接。