[实用新型]电子枪供电电源检测电路

说明书

技术领域

本实用新型涉及电子枪电源技术领域，具体涉及一种电子枪供电电源检测电路。

背景技术

真空镀膜机的蒸发系统主要指成膜装置，成膜装置有电阻加热、电子枪蒸发、磁控溅射、射频溅射、离子镀等多种方式。电子枪蒸发是到目前为止应用最多的一种蒸发方式，它可以蒸发任何一种镀膜材料，其工作方式是：将镀膜材料放在坩埚里面，将蒸发源制作成灯丝形状，采用一专门的控制柜，对灯丝加一强电流，高电压，由于灯丝的材料是钨，所以它会发热，到最后会发射电子，再采用一定的磁场将其聚集成一定形状，并牵引到坩埚上，这样就形成了一股电子束，由于电子束温度非常高，可以熔化任何镀膜药材，当镀膜药材被电子束熔化后，药材的分子在真空中成直线运动，然后遇到基板，就凝结下来，经过这种方式生长，形成薄膜。

通过控制柜给电子枪供电，当控制柜供电正常时，电子枪才能正常工作，若控制柜供电异常，电子枪不能正常工作，从而影响真空镀膜机的稳定性。目前，电子枪控制柜中并没有设置电源检测电路，电子枪供电电源可靠性差。

实用新型内容

针对现有技术的不足，本实用新型提供一种可靠的、简单的，且能够有效地检测电子枪供电电源稳定性的电子枪供电电源检测电路。

本实用新型采用的技术方案是：一种电子枪供电电源检测电路，包括接线端CN1，用于为检测电路提供所需的第一电信号；光电耦合器PC16、光电耦合器PC15和光电耦合器PC14，分别用于接收所述接线端CN1提供的第一电信号，并分别输出第二电信号；三极管V6、三极管V5和三极管V4，分别用于接收所述第二电信号，并分别输出第三电信号；光电耦合器PC6、光电耦合器PC5和光电耦合器PC4，分别用于接收所述第三电信号，并分别输出第四电信号；接线端CN2和接线端CN4，分别用于为检测电路提供所需的第五电信号和第六电信号；光电耦合器PC7和光电耦合器PC8，分别用于接收所述第五电信号和第六电信号，并分别输出第四电信号；接线端CN5，用于为检测电路提供所需的第七电信号；三极管TR11，用于接收所述光电耦合器PC6、光电耦合器PC5、光电耦合器PC4、光电耦合器PC7和光电耦合器PC8分别输出的第四电信号，并接收第四电源提供的第七电信号，输出第八电信号；三极管TR12，用于根据所述三极管TR11输出的第八电信号，输出第九电信号；继电器CRF1，用于接收三极管TR12输出的第九电信号和控制接线端CN5输出检测信号。

通过上述技术方案，可以看出本实用新型具有以下优点：根据继电器CRF1输出的检测信号，能实现电子枪供电电源的检测，有效地检测电子枪电源的稳定性，为电子枪供电异常而调整电子枪电源提供了检测信号，且电路简单可靠，易于实现。

进一步地，还包括备用的光电耦合器PC13、光电耦合器PC12和光电耦合器PC11，分别用于接收所述接线端CN1提供的第一电信号，并分别输出第二电信号；备用的三极管V3、三极管V2和三极管V1，分别用于接收第二电信号，并分别输出第三电信号；备用的光电耦合器PC3、光电耦合器PC2和光电耦合器PC1，分别用于接收所述第三电信号，并分别输出第四电信号；备用的光电耦合器PC9和光电耦合器PC10，分别用于接收所述第五电信号和第六电信号，并分别输出第四电信号；增加了备用的检测回路，提高检测电路的灵活性。

进一步地，还包括二极管TVS6、二极管TVS5、二极管TVS4、二极管TVS3、二极管TVS2、二极管TVS1、电阻R6、电阻R5、电阻R4、电阻R16、电阻R15、电阻R14、电阻R7和电阻R8，分别用于限制流过所述光电耦合器PC16、光电耦合器PC15、光电耦合器PC14、光电耦合器PC13、光电耦合器PC12光电耦合器PC11、三极管V6、三极管V5、三极管V4、三极管V3、三极管V2、三极管V1、光电耦合器PC6、光电耦合器PC5、光电耦合器PC4、光电耦合器PC3、光电耦合器PC2、光电耦合器PC1、光电耦合器PC7、光电耦合器PC8、光电耦合器PC9和光电耦合器PC10的电流大小；提高检测电路的稳定性。

进一步地，还包括电容C16、电容C15、电容C14、电容C13、电容C12和电容C11，分别用于为所述三极管V6、三极管V5、三极管V4、三极管V3、三极管V2和三极管V1滤波，分别消除所述三极管V6、三极管V5、三极管V4、三极管V3、三极管V2和三极管V1基极上的干扰信号；进一步提高检测电路的稳定性。

附图说明

图1为本实用新型中一种电子枪供电电源检测电路原理图。