[实用新型]测试装置

说明书

技术领域

本实用新型涉及光通信领域，具体而言，涉及一种测试装置。

背景技术

光通信行业用于接收信号的光电二极管芯片，需要测试其带宽，相关技术中，产品的测试方法是先将光电二极管芯片装在TO-46管座上，然后通过焊线的方法将光电二极管芯片电极与管座的管脚连接，最后将管脚插入测试板，并连接光波元件分析仪开始测试其3dB带宽，相关技术中至少存在以下技术缺陷：

(1)需要将光电二极管芯片做成TO、ROSA之后，才能够测试其3dB带宽，成本较高，且加长了光电二极管芯片的生产周期，效率较低；

(2)将光电二极管芯片装载管座上之后，还需要通过焊线的方法将光电二极管芯片电极与管座的管脚连接，费时费力，导致产品的检测以及生产效率较低。

实用新型内容

为了解决上述技术问题至少之一，本实用新型的一个目的在于提供一种测试装置。

为了实现上述目的，本实用新型的实施例提供了一种测试装置，包括：底座和顶板，以及连接于底座和顶板之间的多个连接柱，还包括：第一支架，第一支架与顶板连接；第二支架，第二支架与顶板连接；放片台顶柱，设置在底座上，放片台顶柱上安装有放片台，其中，放片台呈圆台状，放片台的侧面设有第一孔，放片台的上面设有与第一孔连通的第二孔。

在该技术方案中，放片台侧面的第一孔用于连接真空，当被测芯片放置在放片台上面的第二孔之上时，将被测芯片吸附在放片台上，第一支架上安装有高频探针，且高频探针的一端连接有光波元件分析仪，通过调整第一支架使被测芯片的电极与高频探针的另一端接触上，另外，第二支架内安装有光导纤维，通过第二支架能够调整光纤角度，使其对准被测芯片的光敏区，最终实现被测芯片带宽的测试，通过上述方案，降低了被测芯片带宽的测试成本，同时提高了被测芯片的测试效率，将被测芯片固定在测试装置上之后，不需要通过焊线的方法将被测芯片电极与管座的管脚连接，只调节第一支架即可完成操作，提高了便捷性，进而减短了被测芯片的生产周期，在提高其经济性的同时，增强产品的竞争力。

其中，优选地，被测芯片为晶圆，尤指高速光电二极管芯片未切割前的原片，不需要将光电二极管芯片做成TO、ROSA之后再测试其带宽，降低了测试成本，同时提高了测试效率。

另外，本实用新型提供的上述实施例中的测试装置还可以具有如下附加技术特征：

在上述技术方案中，优选地，顶板上设置有圆孔，圆孔的轴线与放片台的轴线共线。

在该技术方案中，测试装置的顶板上开有圆孔，且圆孔的轴线与放片台的轴线共线，方便调整光纤角度，同时方便调整高频探针的位置，使其与被测芯片的电极接触，使测试装置更具实用性。

在上述任一技术方案中，优选地，顶板上设置有第一滑槽和第二滑槽，第一滑槽形成的圆弧的圆心与第二滑槽形成的圆弧的圆心位于同一点，且圆心位于圆孔的轴线上，其中，第一滑槽和第二滑槽以圆心为中心，对称设置。

在该技术方案中，第一滑槽为两条平行的弧形轨道，第二滑槽为两条平行的弧形轨道，提高可滑动连接物体的移动精度，降低产生错位的可能性，进而提高了高频探针与被测芯片电极连接的可靠性，提高测试的准确性，另外，第一滑槽和第二滑槽沿圆孔的边缘设置，方便高频探针与电极接触，减小由于路径过长而导致高频探针与其它位置接触的可能，进一步提高测试的准确性。

在上述任一技术方案中，优选地，第一支架的数量为两个，其中，一个第一支架的下方设有第一滑块，另一个第一支架的下方设有第二滑块，第一滑块与第一滑槽可滑动连接，第二滑块与第二滑槽可滑动连接。

在该技术方案中，包括两个第一支架，每个支架上安装有高频探针，且对应不同的极性，通过滑动第一支架，即可使两个高频探针分别与对应的被测芯片的电极极性相接触，操作方便，同时，滑块滑轨连接稳定可靠，移动精度高，提高了高频探针与被测芯片电极连接的可靠性，进而提高了测试的准确性。

在上述任一技术方案中，优选地，当一个第一支架滑动至第一滑槽的中间位置，且另一个第一支架滑动至第二滑槽的中间位置时，两个第一支架之间连线的垂直平分线穿过第二支架。

在该技术方案中，第一支架和两个第二支架分布在圆孔的周围，当一个第一支架滑动至第一滑槽的中间位置，且另一个第一支架滑动至第二滑槽的中间位置时，两个第一支架之间连线的垂直平分线穿过第二支架，三个支架均匀分布，一方面方便调节第一支架，使两个高频探针分别与对应的被测芯片的电极极性相接触，另一方面方便调整第二支架，通过改变光纤角度，使光纤对准被测芯片的光敏区，降低光纤被遮挡的可能性。