[实用新型]分析仪器用混合气配气装置

说明书

技术领域：

本实用新型与气体输送、气体混合、气体分析、色谱分析、电化学分析用配气、混气装置有关。

背景技术：

随着我国电子级别、生物制药级别的气体化学分析领域，向着高、精、尖发展，特别是使用电化学分析方法的技术手段提升，对电子级、生物制药级混合气体需求越来越多，品质要求也越来越高。气体的准确度、稳定性、杂质含量，都影响着最终的研究与生产成果。

目前，我国通常使用的传统配气、混气装置，还大多是以人工操作为主。操作人员须提前根据气体特性，计算和设定每一组原料气体质量，然后再分别充装；由于在原料气体之间、原料气体与环境气体之间容易互相干扰，引起称量误差，并在混气配气过程中，渗入杂质气体，降低了配气的准确度，增大了偏差。所以，传统配气、混气装置，在气体纯度、配气误差、配气效率等方面存在很多不确定性与不足。

实用新型内容：

本实用新型的目的是提供一种配气误差小、杂质含量低、支持多种超高纯源头气体的配比，配气效率高的分析仪器用混合气配气装置。

本实用新型是这样实现的：

若干并联的输气管的开放端分别接气源，并联端经第1双闭式接头48与混气容器51连接，混气容器51与混合气体成分电化学传感器52连接，混气容器51上有压力计49、温度计50,每根输气管上从开放端至并联端依次分别有第1阀1、13、25、37、二级调压阀2、14、26、38、压力表3、15、27、39、温度计4、16、28、40、第2阀5、17、29、41、纯化器6、18、30、42、第3阀7、19、31、43、质量流量计8、20、32、44、真空计9、21、33、45、第4阀10、22、34、46、第1三通、第5阀11、23、35、47，第5阀前端第1三通分别经第6阀12、24、36、55接真空计阀57、真空计阀57与真空计56连接，真空计阀57接真空泵58左端，真空泵58右端经第1单向阀59、第2三通、第6阀60接用气点，第2三通经第2单向阀54、第2双闭式接头53与混气容器51连接。

本实用新型有如下优点：

1、通过该装置，可以更精确、更快捷、更稳定、杂质含量更低、干扰气体更少的实现配气混气；

2、通过该装置，能实现在无杂质残留的状态下配气混气；

3、本实用新型能相对灵活的拆卸和安装配气混气装置，通过双闭式接头48、53可以方便、安全与混气容器51分离，装置可以随身随车携带，放置于任何需要的场合与地点，提高了便携度；特别适合研发类实验室使用。

4、可最大同时支持多种超高纯源头气体的配比，也可以在多种源头气体里任意组合配比，获得最终需要使用的混合气。

附图说明：

图1为本实用新型的结构图。

具体实施方式：

四根并联的输气管的开放端分别接气源，并联端经第1双闭式接头48与混气容器51连接，混气容器51与混合气体成分电化学传感器52连接，混气容器51上有压力计E49、温度计F50,每根输气管上从开放端至并联端依次分别有第1阀1、13、25、37、二级调压阀2、14、26、38、压力表3、15、27、39、温度计4、16、28、40、第2阀5、17、29、41、纯化器6、18、30、42、第3阀7、19、31、43、质量流量计8、20、32、44、真空计9、21、33、45、第4阀10、22、34、46、第1三通、第5阀11、23、35、47，第5阀前端第1三通分别经第6阀12、24、36、55接真空计阀57、真空计阀57与真空计56连接，真空计阀57接真空泵58左端，真空泵58右端经第1单向阀59、第2三通、第6阀60接用气点，第2三通经第2单向阀54、第2双闭式接头53与混气容器51连接。

阀1、5、7、10、11、12、13、17、19、22、23、24、25、29、31、34、35、36、37、41、43、46、47、55、60---用于分段控制气体的进度；同时用于在维护与更换重要元器件时，最大限度降低空气倒灌的几率；

纯化器6、18、30、42---提升配气前的源气的纯度，使得配比后的气体纯度有保障；

二级调压阀2、14、26、38---稳定气体的进气压力，避免对后端配气产生的压差带来的影响；

质量流量计8、20、32、44---根据源气的质量来确定输入配气罐的流量；

混气容器51---源气配比的场所；

真空泵58---配气前清除所有的杂质及残留；

双闭式接头48、53--便于更换与维护，降低维护时的泄漏率；