[实用新型]石英外管组件及炉管装置

权利要求书

1.一种石英外管组件，其特征在于，所述石英外管组件包括：

石英外管，至少所述石英外管底部开口；

保护部，所述保护部的一侧与所述石英外管内壁贴合，所述保护部的底部与所述石英外管的底部位于同一平面上，且所述保护部的高度小于所述石英外管管壁的高度。

2.根据权利要求1所述的石英外管组件，其特征在于，所述保护部包括若干个保护分部，所述保护分部沿所述石英外管的周向排布。

3.根据权利要求2所述的石英外管组件，其特征在于，所述石英外管组件还包括若干第一石英支架，所述保护分部通过若干所述第一石英支架与所述石英外管的内壁贴合。

4.根据权利要求3所述的石英外管组件，其特征在于，所述第一石英支架包括第一支架部和第二支架部，

其中，所述第一支架部呈“L”型，所述第一支架部的竖直部分固定于所述石英外管内壁，所述第二支架部呈倒“L”型，所述第二支架的竖直部分固定于所述保护分部与所述石英外管内壁相贴合的一侧上，所述第一支架部的水平部分与所述第二支架部的水平部分相配合。

5.根据权利要求3所述的石英外管组件，其特征在于，若干所述第一石英支架具有刻号，若干所述保护分部具有与若干所述第一石英支架对应的刻号。

6.根据权利要求1所述的石英外管组件，其特征在于，所述保护部为碳化硅保护部。

7.根据权利要求1-6中任一项所述的石英外管组件，其特征在于，所述石英外管组件还包括保护盖及第二石英支架，

其中，所述保护盖的外径等于所述石英外管内壁的直径，所述保护盖通过所述第二石英支架设置于所述石英外管内侧顶部。

8.根据权利要求7所述的石英外管组件，其特征在于，所述石英外管还具有外管盖体，所述外管盖体固定于所述石英外管顶部，或者与所述石英外管一体成型，其中，所述保护盖位于所述外管盖体内侧。

9.根据权利要求8所述的石英外管组件，其特征在于，所述保护盖形状与所述外管盖体形状相同，且所述保护盖贴合于所述外管盖体内侧。

10.根据权利要求7所述的石英外管组件，其特征在于，所述第二石英支架包括若干凹槽和与若干所述凹槽对应的若干嵌槽，

其中，若干所述凹槽固定于所述石英外管内侧顶部，若干所述嵌槽固定于所述保护盖内侧边缘。

11.根据权利要求10所述的石英外管组件，其特征在于，所述第二石英支架还包括支撑环，其中，所述支撑环固定于所述石英外管内侧顶部，所述凹槽设置于所述支撑环上。

12.根据权利要求7所述的石英外管组件，其特征在于，所述保护盖为碳化硅保护盖。

13.根据权利要求7所述的石英外管组件，其特征在于，所述保护盖内侧设有挂钩。

14.一种炉管装置，其特征在于：包括如权利要求1-13中任一项所述的石英外管组件。

15.根据权利要求14所述的炉管装置，其特征在于，所述炉管装置还包括：

基座；

设于所述基座上的外管及内管，且所述内管位于所述外管内；

设于所述内管中的用于承载晶圆的晶舟，所述晶舟通过一晶舟承载装置装设于所述基座上；

设于所述基座侧壁上的至少一条进气管道，所述进气管道与所述内管连通。