[实用新型]电镀系统药水在线净化装置

说明书

技术领域

本实用新型涉及电镀技术领域，尤其涉及一种电镀系统药水在线净化装置。

背景技术

在PCB板的制备过程中，电镀是在电镀槽通过电镀药水在基板的表面、孔壁上形成所需厚度的金属层，使经过钻孔的电路板实现孔金属化，而在此过程中会产生细小的金属颗粒，同时化工药液在使用过程中发生的副反应会产生有机杂质和污染物，导致电镀药液中有机碳含量持续升高，会极大影响电路板的良率和镀层的性能。因此，电镀过程中对药液的净化处理尤为重要。目前采用的净化过滤装置有以下不足：1)过滤级数少，滤芯材料单一，净化效果不理想；2)现有过滤装置，对有机杂质吸附量小，不具有在线反冲洗功能，滤芯失效即需更换，操作繁琐，成本高。

目前，专利号为201110268215.8的中国专利“镀铜缸有机污染净化装置及其净化方法”和专利号为201620123814.3的中国专利“一种沉铜线过滤装置”通过增加一个过滤器减少有机污染，其未考虑固体颗粒杂质的影响，净化和使用周期有限。专利号为201520972289.3的中国专利“一种药水循环装置及具有该装置的沉铜系统、电镀系统”将过滤级数增加到两级，净化效果有所提高，但是该方法需要两个储液槽，操作过程中药水需求量大，设备占地面积大。专利号为201320494893.0的中国专利“一种PCB化学铜整槽过滤及反应一体设备”，该装置由三组反应和过滤装置并联组成，需要将药水不断在三个槽中切换，操作复杂，占地规模大。

实用新型内容

本实用新型主要的目的在于：提供一种高精度、在线反冲洗回液，节省空间，使用寿命长，结构简单，拆装方便的电镀系统药水在线净化装置。

为实现上述目的，本实用新型提供一种电镀系统药水在线净化装置，该电镀系统药水在线净化装置包括：装有电镀药水的电镀池，根据电镀池内药水的洁净度定量抽取药水的计量泵，对所述计量泵抽出的药水进行加热处理的加热器，对经过所述加热器加热的药水进行杂质过滤的一级过滤器，对经过所述一级过滤器过滤的药水进行二次杂质过滤的二级过滤器，以及对经过所述二级过滤器过滤的药水进行微小固体颗粒去除的三级过滤器；其中，所述计量泵的进液口与所述电镀池的出液口连通，所述计量泵的出液口与所述加热器的进液口连通；所述加热器的出液口与所述一级过滤器的进液口连通，所述一级过滤器的出液口与所述二级过滤器的进液口连通；所述二级过滤器的出液口与所述三级过滤器的进液口连通，所述三级过滤器的出液口也所述电镀池的进液口连通；所述一级过滤器的出液口、二级过滤器的出液口、三级过滤器的出液口均与蒸汽或氮气输出装置的输出口连通；所述一级过滤器、二级过滤器及三级过滤器均设有排污口。

优选地，所述计量泵的过流元件采用不锈钢内衬聚四氟乙烯材质。

优选地，所述加热器的材质采用聚四氟乙烯，且所述加热器的出液口输出的药水温度控制在40～60℃。

优选地，所述一级过滤器外壳的材质为不锈钢内衬聚四氟乙烯，所述的一级过滤器内置包括活性炭颗粒和硅藻土的复合滤芯，该复合滤芯由PP滤膜框架固载活性炭，且该复合滤芯可更换。

优选地，所述二级过滤器外壳的材质为不锈钢内衬聚四氟乙烯，所述二级过滤器的内置滤芯包括活性炭纤维毡或活性炭纤维纸，且该内置滤芯可更换。

优选地，所述二级过滤器的内置滤芯中活性炭纤维毡或活性炭纤维纸卷制或打褶制成。

优选地，所述三级过滤器外壳的材质为聚四氟乙烯，所述三级过滤器内置精度为0.5-1micron的PTFE膜，且该PTFE膜可更换。

优选地，所述的冷凝器的材质为聚四氟乙烯，且所述冷凝器出液口的温度为20～30℃。

优选地，所述电镀池的出液口包括：开设在电镀池底部的第一出液口和第二出液口，开设在电镀池侧壁上部的第三出液口。

本实用新型提供的电镀系统药水在线净化装置，该装置通过在药水净化处理后端增加三个级联的过滤器，以对药水进行三次过滤处理，从而提高了药水的净化精度。本实用新型还提供蒸汽/氮气对三个过滤器进行反冲洗，以及时方便地去除每一级过滤器中的污垢，对活性炭和PTEE膜滤芯进行再生，使得过滤器能够重复实用，从而延长过滤器的使用周期。此外，本实用新型的电镀池涉及一个，因而节省了净化装置的占用空间。

附图说明

图1为本实用新型电镀系统药水在线净化装置的结构示意图。

本实用新型目的的实现、功能特点及优点将结合实施例，参照附图做进一步说明。

具体实施方式