[实用新型]一种新型镀膜石墨舟

权利要求书

1.一种新型镀膜石墨舟，其特征在于：它主要由绝缘棒和在水平方向上排列的数个单元舟片组成，所述单元舟片为竖向设置的片状体，相邻的单元舟片之间具有间隙，所述绝缘棒于各单元舟片的周缘贯穿而将全部的单元舟片连接固定在一起，位于两外侧的单元舟片的内外表面上设有若干与硅片形状相同且其尺寸小于硅片尺寸的凹槽，位于每个外侧单元舟片内外表面上的凹槽相对应，在凹槽的槽底面上设有贯通该对应凹槽的用于抽真空的细孔，位于中间的单元舟片上设有若干与硅片形状相同且其尺寸小于硅片尺寸的通孔，在所述凹槽和通孔的周边区域中设有用于固定硅片的卡点，所述卡点主要由用于安装在单元舟片安装孔中的圆柱形安装部、一对卡块和安装轴组成，所述安装轴连接安装部和卡块，在安装部和卡块之间形成用于卡合硅片的卡口，所述卡块为中空的三角形块状体或中空的圆柱形块状体，所述安装轴连接在卡块的内顶面上，在所述安装轴与卡块的内壁之间设有连接杆，所述卡块不遮挡硅片表面相对应的区域以便镀膜均匀。

2.根据权利要求1所述的新型镀膜石墨舟，其特征在于：所述凹槽和通孔的口缘形状为正方形四个边角弧形过渡的形状，主要由顶边、底边和两条侧边组成，所述卡点为3个且位于凹槽和通孔的周边区域中并分别靠近底边和侧边。

3.根据权利要求2所述的新型镀膜石墨舟，其特征在于：所述单元舟片的数量为2～50。

4.根据权利要求3所述的新型镀膜石墨舟，其特征在于：相邻单元舟片之间的间距为5～50mm。

5.根据权利要求4所述的新型镀膜石墨舟，其特征在于：所述中空的圆柱形块状体的直径为5～10mm。

6.根据权利要求5所述的新型镀膜石墨舟，其特征在于：所述中空的圆柱形块状体的厚度是2～8mm。

7.根据权利要求4所述的新型镀膜石墨舟，其特征在于：所述中空的三角形块状体的横截面为等边三角形，其边长为2～8mm。

8.根据权利要求7所述的新型镀膜石墨舟，其特征在于：所述中空的三角形块状体的厚度为1～5mm。

9.根据权利要求1所述的新型镀膜石墨舟，其特征在于：卡块的中空部分在硅片上的正投影区域的长度为1～7mm。

10.根据权利要求1所述的新型镀膜石墨舟，其特征在于：所述绝缘棒采用陶瓷棒。