[实用新型]一种马达装置及蚀刻装置

说明书

技术领域

本实用新型涉及电子工业领域，具体地，涉及一种用于马达装置，以及包括有该马达装置的蚀刻装置。

背景技术

许多电子产品例如电视、移动电话、冰箱或甚至在汽车中都可见与平板显示器的搭配应用。液晶显示面板由于具有良好的显示及触控质量以及相对较低的成本，目前已成为平板显示器的主流产品。一般来说，液晶显示及触控面板需经由一至二道蚀刻工艺，完成导电线路成型的工艺。

然而，在蚀刻机使用的过程中，由于很难实现完全密封，蚀刻液和/或蚀刻气会部分外逸，严重时会扩散至蚀刻机的马达电机中，从而对马达电机进行侵蚀，造成锈蚀。

现有技术中对马达的保护仅仅是在马达电机上装加外围式防护罩，虽然在一定程度上缓解了蚀刻液和/或蚀刻气对马达电机的侵蚀，但并没延长马达使用寿命以及较低更换频度。

实用新型内容

本实用新型的目的是为了克服以上缺陷，提供一种能够有效避免蚀刻机的马达电机被外逸的蚀刻液和/或蚀刻气侵蚀的马达装置以及蚀刻装置。

为了实现上述目的，一方面，本实用新型提供了一种马达装置，该马达装置包括：

马达，该马达位于壳体内部；

进气孔，该进气孔位于所述壳体上并与壳体内部相通，该进气孔允许气体进入壳体内部，并使得相对于壳体外部，壳体内部为正压。

优选的，所述进气孔通过进气调整阀调整进气量，以维持壳体内部的所述正压。

优选的，所述进气调整阀为手动进气调整阀。

优选的，所述壳体为PVC材质，厚度为3-8mm。

优选的，所述气体为空气。

另一方面，本实用新型还提供了一种蚀刻装置，该蚀刻装置包括如上所述的马达装置。

优选的，该蚀刻装置还包括：

蚀刻区，该蚀刻区允许待蚀刻物件在其中进行蚀刻处理，且该蚀刻区的上部呈突起状，所述突起的外侧面与所述蚀刻装置的外壁内侧是间隔开的；

水封区，该水封区由所述蚀刻装置的外壁内侧、所述突起的外侧面和所述蚀刻区的顶部所形成，该水封区用于捕获由所述蚀刻区外逸的蚀刻液和/或蚀刻气。

优选的，所述水封区通过流体入口和流体出口被持续的供给用于捕获外漏的蚀刻液和/或蚀刻气的流体。

优选的，所述水封区还包括抽气孔，该抽气孔用于外排由所述蚀刻区外逸的蚀刻气和/或蚀刻液，且其高度高于水封区中流体的高度。

优选的，所述蚀刻装置还包括蚀刻气和/或蚀刻液可透过的内盖和蚀刻气和/或蚀刻液不可透过的外盖，内盖用于封闭位于所述蚀刻区上部突起的开口；外盖用于封闭及气密整个蚀刻装置。

本实用新型通过在马达电机外添加外围防护罩，同时对保护罩内进气，并使得保护罩内部的压力大于外部的压力，从而可有效地避免外逸的蚀刻液和/或蚀刻气进入到保护罩内对马达电机造成侵蚀。因此，本实用新型的马达装置可对马达电机进行有效的防护，延长使用寿命。在本实用新型提供的包括有如上马达装置的蚀刻装置中，进一步优选的，在蚀刻装置中设置水封区，在刻蚀机启动之后，在所述水封区内持续补给能够捕获蚀刻液和/或蚀刻气的流体并将捕获的蚀刻液和/或蚀刻气送至待处理处，可有效避免蚀刻液和/或蚀刻气外逸，从而降低了飘散到马达装置周围的蚀刻液和/或蚀刻气，可对马达电机进行进一步的保护。在更为优选的情况下，在水封区高于流体的位置，设置一抽风口，将蚀刻装置中剩余的蚀刻液和/或蚀刻气持续抽离，可进一步降低蚀刻液和/或蚀刻气的外逸，从而更有效地对马达电机进行保护。

本实用新型的其它特征和优点将在随后的具体实施方式部分予以详细说明。

附图说明

附图是用来提供对本实用新型的进一步理解，并且构成说明书的一部分，与下面的具体实施方式一起用于解释本实用新型，但并不构成对本实用新型的限制。在附图中：

图1是本实用新型一种实施方式的马达装置的示意图。

图2是根据本实用新型一种实施方式的蚀刻装置的示意图。

1马达2 壳体3 进气孔

4进气调整阀5 蚀刻区6 水封区

61 抽气孔7 流体入口8 流体出口

9内盖10外盖11溢流口

具体实施方式

以下结合附图对本实用新型的具体实施方式进行详细说明。应当理解的是，此处所描述的具体实施方式仅用于说明和解释本实用新型，并不用于限制本实用新型。

如图1所示，本实用新型提供了马达装置，该马达装置包括：

马达1，该马达1位于壳体2内部；